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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105538046A(43)申请公布日2016.05.04(21)申请号201510906045.XB24B51/00(2006.01)(22)申请日2015.12.09(71)申请人浙江工业大学地址310014浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号(72)发明人文东辉孙白冰金明生王扬渝章少杰(74)专利代理机构杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213代理人吴秉中(51)Int.Cl.B24B1/00(2006.01)B24B49/00(2012.01)B24B41/00(2006.01)B24B47/12(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图5页(54)发明名称一种液动压悬浮抛光方法及其装置(57)摘要本发明公开了一种液动压悬浮抛光方法及其装置,伺服电机、同步带轮带动轴套和滚珠花键轴,从而直接带动抛光盘高速旋转,提高了加工效率。贴有工件的抛光盘上开有楔形槽,在高速、小间隙下形成楔形效应,使所述抛光盘带动滚珠花键轴沿轴套上浮,实现均匀的非接触抛光。电动升降台升降底部容器实现初始定位。顶部装有测力传感器用于抛光盘与容器之间的对刀作用,用以保证定位的可靠性。花键轴通过支撑座和平衡板连接在一起,平衡板和底板之间有四组弹簧,用于克服抛光部件的重力。底板上装的激光位移传感器测量抛光过程中平衡板的上下浮动距离。底部容器装有电涡流传感器和压力传感器,用以检测抛光间隙和液动压力的大小。CN105538046ACN105538046A权利要求书1/2页1.一种液动压悬浮抛光方法,其特征在于:利用伺服电机(24)通过同步带(27)带动轴套(19)和滚珠花键轴(22)高速转动,从而带动连接在滚珠花键轴(22)底部的抛光盘(15)一起转动,抛光盘(15)的底部开有楔形槽,在高速和小间隙的条件下形成楔形效应,使所述抛光盘(15)带动滚珠花键轴(22)沿轴套(19)上浮,同时利用平衡板(20)和对平衡进行支撑的重力调节机构对平衡板(20)、滚珠花键轴(22)和抛光盘(15)形成的整体进行重力克服,并利用设置在滚珠花键轴(22)上方的测力传感器(25)进行抛光盘(15)与容器(14)时间的对刀,从而实现抛光均匀的非接触抛光。2.根据权利要求1所述的一种液动压悬浮抛光方法,其特征在于:在滚珠花键轴(22)的顶部安装测力传感器(25),测力传感器(25)固定在丝杠(1)底部,丝杠(1)通过螺母(2)进行调节带动测力传感器(25)与滚珠花键轴(22)顶部接触,并利用测力传感器(25)检测到的数据,完成抛光盘(15)与容器(14)之间的对刀操作。3.一种液动压悬浮抛光装置,其特征在于:包括抛光盘(15)、液动压悬浮装置、升降装置和支撑装置,所述抛光盘(15)表面划分成若干个基本单元,每个基本单元表面均包括从右至左依次设置的工件贴片区、楔形区域、蓄流槽和约束边界;所述支撑装置包括大理石平台(12)、底板(10)、侧板(11)和支撑架(3),支撑架(3)固定在所述底板(10)上,所述底板(10)通过左右两侧的侧板(11)支撑在所述大理石平台(12)上;所述升降装置包括容器(14)和电动升降台(13),容器(14)固定在电动升降台(13)上,电动升降台(13)固定在大理石平台(12)上;所述液动压悬浮装置包括包括抛光盘(15)、滚珠花键轴(22)、轴套(19)、伺服电机(24)、平衡板(20)、支撑座(23)和多组重力克服机构,所述滚珠花键轴(22)套(19)装在固定在底板(10)上的轴套(19)内,滚珠花键轴(22)穿过所述底板(10),滚珠花键轴(22)的底部通过刚性联轴器(16)连接抛光盘(15),滚珠花键轴(22)的顶部通过支撑座(23)连接平衡板(20);所述平衡板(20)的两端设有支撑块(5),所述支撑块(5)与固定在支撑架(3)上的滚动导轨(4)配合连接,所述平衡板(20)通过所述支撑块(5)在所述滚动导轨(4)上上下滑动;所述重力克服机构固定在所述平衡板(20)与底板(10)之间,用于克服所述底板(10)、滚珠花键轴(22)、刚性联轴器(16)和抛光盘(15)的自重;所述伺服电机(24)通过电机支承座固定在底板(10)上,伺服电机(24)通过同步带(27)连接轴套(19),伺服电机(24)通过带动同步带(27)带动轴套(19)和滚珠花键轴(22)的转动从而带动所述抛光盘(15)的转动。4.根据权利要求3所述的一种液动压悬浮抛光装置,其特征在于:所述滚珠花键轴(22)正上方还设有测力传感器(25),所述测力传感器(25)固定在丝杠(1)的正下方,所述丝杠(1)上设有调节所述丝杠(1)上下移动的螺母(2),通过转动螺母(2)能够调节丝杠(1)带动测力传感器(25)与滚珠花键