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掺镓氧化锌柔性薄膜晶体管的工艺研究的中期报告
这里是一份掺镓氧化锌柔性薄膜晶体管的工艺研究中期报告。
研究背景：
随着柔性电子技术的发展，柔性晶体管作为核心器件，越来越受到关注。掺镓氧化锌是一种具有优异性能的透明导电材料，因此在柔性晶体管的应用中得到广泛应用。本文旨在研究掺镓氧化锌柔性薄膜晶体管的制备工艺。
研究方案：
本研究采用的工艺包括以下几个步骤：
1.镀金属电极
使用电子束蒸发技术，在柔性底板上镀上金属电极。我们采用的金属是铜和铝，同时在金属表面镀一层氧化层，以改善接触。
2.制备掺镓氧化锌薄膜
掺镓氧化锌薄膜的制备采用射频磁控溅射技术。在真空条件下，将锆和氧化锌混合的靶材置于磁控溅射装置中，加上高电压，利用高速离子撞击靶材表面，使靶材表面的锆和氧化锌分子结合起来，形成掺镓氧化锌薄膜。
3.制备柔性薄膜晶体管
将掺镓氧化锌薄膜覆盖在金属电极上，再加上源极和漏极，形成柔性薄膜晶体管。
研究进展：
目前我们已经完成了第一步的金属电极的镀制。在实验中，我们通过调整电子束的加速电压和电流，可以控制金属电极的厚度和形状。同时，在镀金属电极时，我们采用了氧化层的处理方法，改善了其与掺镓氧化锌薄膜的接触效果。
在掺镓氧化锌薄膜的制备方面，我们已经搭建了磁控溅射装置，并初步实现了掺镓氧化锌薄膜的制备。不过，由于射频磁控溅射技术具有较高的难度，需要在射频功率、气体流量、靶材表面温度等方面进行多次调整，以获得符合要求的掺镓氧化锌薄膜。目前，我们正在进行进一步的实验，以调整制备条件，提高掺镓氧化锌薄膜的质量。
结论：
我们在本次研究中，初步完成了掺镓氧化锌柔性薄膜晶体管的制备工艺的调研和部分实验。但仍有很多的工作需要进一步深入探究和完善，以实现掺镓氧化锌柔性薄膜晶体管的高效制备和应用。