柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的制备与特性研究的任务书.docx

柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的制备与特性研究的任务书
一、研究背景
柔性电子技术是当今电子技术领域发展的一个热点，主要应用在电子纸、柔性显示器、电子皮肤等方面。柔性电子技术的发展需要大量的新型材料，其中柔性衬底材料是最基础的一种材料，其性能对柔性电子器件的整体性能有着至关重要的影响。
铝氧化锌是一种新型的透明导电薄膜材料，具有透明度高，电阻率低，化学稳定性好等优点。同时，柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管也是柔性电子器件中最常用的一种。因此，研究柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的制备与特性，对于提高柔性电子器件的性能具有十分重要的意义。
二、研究内容
本课题旨在研究柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的制备与特性，具体研究内容如下：
1.探究柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的制备工艺，包括材料准备、薄膜制备、退火温度、制备工艺参数等方面的研究。
2.分析柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的电学性能，包括场效应迁移率、开关比、子阈值摆幅等方面的研究。
3.系统分析柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的光电特性，包括光电响应时间、光电响应度、光学带隙等方面的研究。
三、研究方法
本课题将采用以下研究方法：
1.采用射频磁控溅射法在柔性衬底上制备掺铝氧化锌薄膜。
2.利用场效应测试仪测试柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的电学特性。
3.采用光电特性测试仪测试柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的光电特性。
四、研究成果
通过本课题的研究，将达成以下成果：
1.研究柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的制备工艺，探究最优工艺参数。
2.分析柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的电学性能并优化其性能。
3.系统分析柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的光电特性并优化其性能。
4.发表相关研究论文一篇，参加相关学术会议一次。
五、研究方案和进度安排
1.第一年
（1）文献调研，了解此类材料的研究现状和发展趋势。
（2）制备掺铝氧化锌薄膜，并进行光电和电学测试。
（3）数据处理，初步分析实验数据。
（4）撰写一篇学术论文，参加学术会议。
2.第二年
（1）优化掺铝氧化锌薄膜的制备工艺，探究最优参数。
（2）对电学特性进行实验测试和深入分析。
（3）对光电特性进行实验测试和深入分析。
（4）撰写一篇学术论文，参加学术会议。
3.第三年
（1）对最优工艺的掺铝氧化锌薄膜晶体管进行大面积制备。
（2）对其电学和光电性能进行深入研究，并进行性能测试。
（3）撰写一篇学术论文，参加学术会议。
4.总结和报告
第三年完成研究后进行总结，撰写论文并提交，参加相关学术会议并作成研究报告。