应变CMOS器件结构模型研究的综述报告.docx
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应变CMOS器件结构模型研究的综述报告.docx
应变CMOS器件结构模型研究的综述报告应变CMOS是一种研究热点,具有优异的性能,广泛应用于各种领域,如模拟电路、微处理器、光通讯等。本文对应变CMOS器件结构模型研究进行了综述报告,旨在深入理解应变CMOS器件的结构及其性能优化。应变CMOS器件介绍应变CMOS器件又称微应变CMOS器件。它基于应变效应,通过施加外力使晶体管电学特性发生变化,从而实现器件的优化。应变CMOS器件结构由基底、热氧化层、沉积层、门极氧化层和金属电极构成。在器件制造过程中,将应力应用于硅片,改变硅原子晶格结构,从而改变晶体管电
应变CMOS器件结构模型研究的任务书.docx
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射频集成电路中0.13μm CMOS器件模型的研究的综述报告.docx
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