干法清洗归纳.pdf
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干法清洗归纳.pdf
干法清洗简介此为本人根据网络所收集到一些企业干法清洗的指导性文件所进行翻译整理,总结出本干法清洁简介,仅供参考--------Volita清洁的定义⚫去除所有的杂质,如泥土、灰尘、食物残渣⚫“洁净”意味着生产食物的场所是足够安全的场所内主要的清洁方式➢干法➢湿法限制水的引入和使用是控制低湿度食品生产中病原体的主要手段之一有效清洁:由适当的清洁目标等级驱动:工厂的不同区域有不同程度的风险不同的食物也有不同程度的风险场所内不同的区域要求不同的“清洁的目标水平”不同的清洁的目标水平将决定不同的清洁方式采用清洁的
一种干法清洗锗晶片的方法.pdf
本申请涉及半导体材料的加工技术领域,具体公开了一种干法清洗锗晶片的方法,所述方法包括如下步骤:(1)向真空混合腔中分别通入氮气等离子体和氦气等离子体,得到混合等离子体;其中,所述氮气等离子体通入所述真空混合腔的通入体积和所述氦气等离子体通入所述真空混合腔的通入体积的比值为1:(0.1~0.2);(2)将锗晶片置于真空清洗腔中并升温至280~320℃;之后,向所述真空清洗腔中通入所述混合等离子体,所述混合等离子体对所述锗晶片进行清洗并使所述锗晶片表面钝化;(3)降温至20~30℃。本申请能够有效去除锗晶片表
一种自动化干法清洗装置.pdf
本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出,变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗,以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致,用于实时观察和记录清洗效果。本发明能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下
铝线干法刻蚀后湿法清洗方法.pdf
本发明公开了一种铝线干法刻蚀后湿法清洗方法,包括步骤:步骤一、采用去离子水对晶圆表面进行前处理,去离子水和干法刻蚀后产生的聚合物中残留的氯化铝反应并形成氢氧化铝和氯气,氯气在清洗机台内随排风抽走,从而去除CL元素;步骤二、采用包括有NH4F的氟系药液对前处理过的晶圆进行湿法清洗以去除晶圆上干法刻蚀后产生的聚合物,NH4F与步骤一产生的氢氧化铝反应生成NH4ALF4。步骤三、采用去离子水对晶圆表面进行后处理,去离子水通过溶解NH4ALF4去除F元素;通过去除CL元素和F元素提高晶圆铝线的抗腐蚀免疫力。本发明
干法复合式免清洗油烟净化器.pdf
本发明提供了一种干法复合式免清洗油烟净化器,所要解决的问题是:形成油烟颗粒附着在净化器的过滤网上,变成胶状物油污。如果不清洗,会堵塞过滤网,失去过滤作用;若定期清洗,需要支付价格不菲的清洗费。本发明的要点是:所说的过滤网是丝网链,它往复缠绕在若干个滚轮上,由滚轮驱动丝网链行走,它们设置在烟道当中;在位于四角处的滚轮上面设置可以刷到丝网链的排刷;在相邻的丝网链之间、沿着滚轮轴的方向设置若干个阴极丝;在烟道壁上设置紫外灯管。本发明的用途是:安装在排油烟系统的烟道中,实现油烟净化和自我清洗。