一种自动化干法清洗装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105750272A(43)申请公布日2016.07.13(21)申请号201610245993.8(22)申请日2016.04.20(71)申请人中国工程物理研究院激光聚变研究中心地址621999四川省绵阳市919信箱988-5分箱(72)发明人程晓锋郑万国袁晓东周国瑞王晓红高东贾宝申刘昊牛龙飞苗心向吕海滨(74)专利代理机构中国工程物理研究院专利中心51210代理人翟长明韩志英(51)Int.Cl.B08B7/00(2006.01)B08B13/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图1页(54)发明名称一种自动化干法清洗装置(57)摘要本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出，变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗，以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致，用于实时观察和记录清洗效果。本发明能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下，利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。CN105750272ACN105750272A权利要求书1/2页1.一种自动化干法清洗装置，其特征是：所述的自动化干法清洗装置包含高压二氧化碳气瓶（1）、控压阀（2）、电控阀门（3）、空气过滤器（4）、智能喷射探头（5）、长焦距显微镜（6）、工作站（7）、五自由度电位移台（8）、图像转换控制器（10）、五自由度电位移台控制器（11）、电控阀门控制器（12）、智能喷射探头控制器（13）；其中，所述的智能喷射探头（5）含有文丘里管（51）、二极管激光器（52）、四象限光电二极管（53）、距离感应器（54）、线缆转换器（55）、定位板（56）、绝缘转接板（57）；所述的五自由度电位移台（8）含有水平旋转电位移台（81）、俯仰角度旋转电位移台（82）、x轴方向电动平移台（83）、y轴方向电动平移台（84）、z轴方向电动平移台（85）、载物台（86）；其连接关系是，所述的高压二氧化碳气瓶（1）、控压阀（2）、电控阀门（3）、空气过滤器（4）、智能喷射探头（5）的文丘里管（51）通过高压气管依次连接；智能喷射探头（5）中的文丘里管（51）通过螺钉固定在定位板（56）上，二极管激光器（52）、四象限光电二极管（53）、距离感应器（54）固定在绝缘转接板（57）上，绝缘转接板（57）通过螺钉固定在定位板（56）上，线缆转换器（55）固定在定位板（56）上，二极管激光器（52）、四象限光电二极管（53）、距离感应器（54）的控制线连接至线缆转换器（55）；五自由度电位移台（8）的水平旋转电位移台（81）、俯仰角度旋转电位移台（82）、x轴方向电动平移台（83）、y轴方向电动平移台（84）、z轴方向电动平移台（85）从下往上依次固定连接，水平旋转电位移台（81）与俯仰角度旋转电位移台（82）的中轴线正交，水平旋转电位移台（81）与z轴方向电动平移台（85）同轴设置，x轴方向电动平移台（83）、y轴方向电动平移台（84）、z轴方向电动平移台（85）相互垂直且交于同一点，载物台（86）固定在z轴方向电动平移台（85）上；被清洗工件（9）固定在载物台（86）上，被清洗工件（9）的法线方向与y轴方向一致；所述的智能喷射探头（5）与长焦距显微镜（6）位于被清洗工件的同一侧；电控阀门（3）、电控阀门控制器（12）、工作站（7）通过信号传输电缆依次连接，长焦距显微镜（6）、图像转换控制器（10）、工作站（7）通过信号传输电缆依次连接，五自由度电位移台（8）、五自由度电位移台控制器（11）、工作站（7）通过信号传输电缆依次连接，智能喷射探头（5）的线缆转换器（55）、智能喷射探头控制器（13）、工作站（7）通过信号传输电缆依次连接；所使用的清洗介质二氧化碳气体由高压二氧化碳气瓶（1）输出，并经高压气管输送，依次通过控压阀（2）、电控阀门（3）、空气过滤器（4）、智能喷射探头（5）的文丘里管（51），喷射出固体、液体、气体混合物到达被清洗工件（9）表面。2.根据权利要求1所述的自动化干法清洗装置，其特征是：所述的五自由度电位移台（8）的水平旋转电位移台（81）、俯仰角度旋转电位移台（82）、x轴方向电动平移台（83）、y轴方向电动平移台（84）、z轴方向电动平移台（85）的连接关系设置为x轴方向电动平移台（83）、y轴方向电动平移台（84）、z轴方