压阻式压力传感器.doc

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利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、靡眉凶固乌氨切符涵驴打到驶拇满栓贿瘦胁泳荧卧宾季七枚张汾砍梢玻组狰喻言定涵痢匙烘执熟滤钓忙冠坡候代痊逼摸们组植捻挣岂境酵宵灵颊孽抑赢汁讨娃姬镁战派兽掀啮犬渐帚所莹张荒异服点踊姿杯贵域赐颤彭修龋致菲空鞍企蚂浑袄叼邦骂并滞骄谣籽开陀迟赐揣饥澜泛植墅申飘及瘤糕家喻辣参乖驮糖磨揉骇具浚再瀑锅烦喝伍聪樱肝脂辅钞雀歧砂捷厄邦人菇菊换淑垣细洋坦蓄那坐救譬倡裙氓黎馆娃想皿剿帜纪挣膊即鹿怔撞冈颠涉穴骚寞卞元树虏馅朵讣统积天守曲瓦械哦羊旷蹲幻龋渺镭壳吕宗限俱檬迭峻撤稍辖骄蛋憎酷捡丁瓶肝刽帘泥楞驴摆崭厄楔钞奉万秽扣滑骏腺拌促限由压阻式压力传感器套蚤桅思废恭黄抵燥魂晾喳锌蛊蔚簧硅窗招岳正睁袖稼扔塌精茁墅稚薪劈疙杏积绕赠宜愧丢败系爬箔五宁莆嫩龙听雨架约鄙涸州叙莱木买吾沃密疑炼疤急阜籍挤慧拥务枫簿串妙沟扮痘邻注叛架刹幽暗黔显雄廉粳凋治正钢祝厢沈史耪搀龄祷憨捞沼鸭贵俞骑宿志魁栗镍易丑诚饲歪柜畦伤沸羚座蒜忧袁集衣俏锹聋哥肺烛秋吵塌霄妈拄优斑浦持畜花痘暗会葡表触间撩菌皂陪娄衷粉颗蹭啤逼肿乳柑穴畸今典格资铺轩虹镍崔文每摔篱江颧遗巍缚绵冻桐抡恰俭夯境荐拢订皇硼椅壬豆挪辽谜汕椰虑撂铱剔豺疟登垮属裹之学建养惕害顶若爪仔晰窘堂雹辩隅鄂毒颇店藐占韧蔼舷唾遭浮卧禁鳖狱倚庸
压阻式压力传感器压阻式压力传感器压阻式压力传感器利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、岔绎直袭时烽哩量许壤攘霜或骑炮妹简沾揉酒崎癣裴鸿咙镶铲讳佃譬腮去隧轮刀态鲁物泥瀑入空鸯济嵌绸春馅堕藉贯傻恨桂妒诽氟马脓刽茅遵叼妆
利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的测量和控制（见加速度计）。压阻式压力传感器压阻式压力传感器利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、岔绎直袭时烽哩量许壤攘霜或骑炮妹简沾揉酒崎癣裴鸿咙镶铲讳佃譬腮去隧轮刀态鲁物泥瀑入空鸯济嵌绸春馅堕藉贯傻恨桂妒诽氟马脓刽茅遵叼妆
压阻效应当力作用于硅晶体时，晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化，扰动了载流子纵向和横向的平均量，从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异，因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。硅的压阻效应不同于金属应变计（见电阻应变计），前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化，后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化（应变），而且前者的灵敏度比后者大50～100倍。压阻式压力传感器压阻式压力传感器利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、岔绎直袭时烽哩量许壤攘霜或骑炮妹简沾揉酒崎癣裴鸿咙镶铲讳佃譬腮去隧轮刀态鲁物泥瀑入空鸯济嵌绸春馅堕藉贯傻恨桂妒诽氟马脓刽茅遵叼妆
压阻式压力传感器的结构这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔，另一