硅压阻式压力传感器.doc
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硅微压阻式压力传感器的测试与研究硅微压阻式压力传感器的测试与研究摘要:硅微压阻式压力传感器是一种常用的压力测量装置,它能将被测压力转化为电阻变化,并由电路进行信号处理。本文对硅微压阻式压力传感器的测试与研究进行了详细的讨论。首先介绍了硅微压阻式压力传感器的基本工作原理和结构组成。然后,重点探讨了传感器的测试方法以及测试过程中可能遇到的问题和解决方案。最后,通过对传感器的研究,提出了一些改进措施,以提高传感器的性能和可靠性。关键词:硅微压阻式压力传感器;测试方法;研究1.引言硅微压阻式压力传感器是一种将被测
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硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究第六图书馆微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一“弱点”介绍一种基于压力芯片的惠斯顿电桥建立外接电阻补偿网络的数学模型利用MatLab优化工具箱提供的优化方法构建算法对补偿电阻求解实现对温度漂移的补偿。该方法更有助于基于硅压阻式压力芯片的OEM型产品的大规模量产。微电子技术的发展