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超薄芯片Backend工艺分析及失效研究的综述报告 超薄芯片是一种厚度小于200微米的芯片,具有体积小、功耗低、高集成度等优点,逐渐成为电子产品中的主流产品。超薄芯片的制造过程非常复杂,其中Backend工艺是其中不可或缺的环节。本文将综述超薄芯片Backend工艺分析及相关失效研究。 一、Backend工艺分析 Backend工艺是指在IC设计完成后将芯片从晶圆上裁切下来,进行针脚排列、封装封装和测试等一系列工艺的过程。具体包括以下几个方面: 1.针脚排列 针脚排列是指对芯片的针脚进行调整,确保芯片能够对接到印刷电路板,并能够与外部电路正常连接。不同型号的芯片针脚个数、排列方式、距离等都有差异,因此需要根据具体要求进行计算和设计。 2.封装 封装是将芯片通过成型、焊接等工艺放入塑料、金属或陶瓷的外壳中,以保护芯片并便于与外界连接。常见的芯片封装方式有QFP、BGA、CSP、COF等。不同的封装方式有不同的优缺点和特点,需要根据具体情况进行选择。 3.测试 测试是指通过测试仪器对芯片进行测试,确保其功能正常。常用的测试方法有耐压测试、温度测试、电流测试等。测试仪器需要具备高精度、高抗干扰、高速度等特点,以保证测试结果的准确性和稳定性。 以上三个方面构成了Backend工艺的主要内容,这些工艺环节必须得到精细制造和科学管理,才能保证芯片在市场上的质量和性能。 二、超薄芯片Backend失效研究 1.焊接接点失效 焊接接点失效是指芯片针脚与印刷电路板焊点处的松动、脱焊或断裂等现象。这种失效可以导致芯片与外界连接不良或完全失效。焊接接点失效的原因有很多,例如材料劣质、制造工艺不当、压力过大、高温等,需要针对具体情况进行分析和处理。 2.晶圆切割失效 晶圆切割失效是指在进行芯片切割过程中产生的裂纹、缺陷等情况。这些缺陷可能对芯片的正常使用产生影响。晶圆切割失效的原因可能是由于切片工艺的不当引起的。例如,切割过程中的摩擦会产生热量,如果摩擦过强或温度过高,则可能导致晶圆表面发生损伤。 3.封装材料失效 封装材料失效是指芯片封装中所用材料的老化、磨损、变形等现象。这种失效可能会导致芯片与外界连接不良或者无法正常工作。封装材料失效的原因可能是由于材料质量不佳、使用环境恶劣等。为了减少封装材料失效的概率,需要对芯片的封装材料进行严格的选择和质检。 综上所述,Backend工艺是超薄芯片制造中的重要环节,其中包括针脚排列、封装以及测试等方面。超薄芯片的失效可能会因为①焊接接点失效、②晶圆切割失效、③封装材料失效等原因引起。因此,需要对Backend工艺进行科学分析和管理,避免可能的失效情况的发生。