多线切割设备锥线轮机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105538528A(43)申请公布日2016.05.04(21)申请号201510997364.6(22)申请日2015.12.28(71)申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号(72)发明人陈学森付纯鹤袁立伟(74)专利代理机构北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙)11004代理人宋元松(51)Int.Cl.B28D7/00(2006.01)B28D5/04(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图10页(54)发明名称多线切割设备锥线轮机构(57)摘要本发明公开了多线切割设备锥线轮机构，其包括传动部分，液压调节部分，线轮部分；传动部分包括轴承座、主轴、圆锥滚子轴承，主轴由一对圆锥滚子轴承背对背支撑固定在底座上的轴承座上；液压调节部分包括油缸缸体、油缸静活塞，油缸静活塞设置在油缸缸体的内腔，油缸静活塞的前端为锥形，油缸静活塞前端的锥形与主轴中部的锥孔配合设置；线轮部分包括锥形轮、压线盘、锁紧法兰，锥形轮内部设置有空腔，油缸缸体设置在锥形孔的空腔内，压线盘内侧依靠在油缸缸体的轴肩上，并由锁紧法兰锁紧；锥形轮通过长螺杆与主轴连接。本发明提供的多线切割设备锥线轮机构应用于晶片加工技术领域，其结构合理，采用液体调节控制，运行可靠，方便切割旧线的拆除。CN105538528ACN105538528A权利要求书1/1页1.多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，包括传动部分，液压调节部分，线轮部分；其中，传动部分包括轴承座（1）、主轴（2）、圆锥滚子轴承（3），主轴（2）由一对圆锥滚子轴承（3）背对背支撑固定在底座上的轴承座（1）上；液压调节部分包括油缸缸体（9）、油缸静活塞（6），油缸静活塞（6）设置在油缸缸体（9）的内腔，油缸静活塞（6）的前端为锥形，油缸静活塞（6）前端的锥形与主轴（2）中部的锥孔配合设置；线轮部分包括锥形轮（4）、压线盘（10）、锁紧法兰（11），锥形轮（4）内部设置有空腔，油缸缸体（9）设置在锥形孔（4）的空腔内，压线盘（10）内侧依靠在油缸缸体（9）的轴肩上，并由锁紧法兰（11）锁紧；锥形轮（4）通过长螺杆（5）与主轴（2）连接。2.根据权利要求1所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述的液压调节部分还包括压环（7）、压盖（8），油缸静活塞（6）上设置有中间槽，压环（7）装卡在中间槽内，压盖（8）压紧压环（7），并通过螺钉固定在主轴（2）上。3.根据权利要求1所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述的压线盘（10）为环状圆柱形，其中心设置有轴向孔（20），轴向孔（20）的尺寸与油缸缸体（9）端部的外径尺寸配合设置，压线盘（10）的柱状面径向相对位置设置有径向通孔（21）；所述的油缸缸体（9）的端部径向相对位置设置有定位孔，压线盘（10）上的径向通孔（21）与油缸缸体（9）上的定位孔轴向位置相对。4.根据权利要求3所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述的线轮部分还包括滑销（13），压簧（18），顶丝（19）及把手（14）；滑销（13）、压簧（18）、顶丝（19）依次设置在压线盘（10）的径向通孔（21）内，顶丝（19）顶住压簧（18），使滑销（13）的端部嵌入油缸缸体（9）上的定位孔内；把手（14）固定在滑销（13）的中部。5.根据权利要求1所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述锥形轮（4）的后端设置有挡边结构（16），其中部的内腔尺寸与油缸缸体（9）的外径配合设置。6.根据权利要求4所述的多线切割设备锥线轮机构，其特征在于，所述的压线盘（10）上设置有拆卸孔（15），其包括圆形孔槽，椭圆形槽及连接在圆形、椭圆形槽之间的方形槽；在锁紧状态时，把手（14）装卡在方形槽内。7.权利要求1～6中任意一项所述多线切割设备锥线轮机构的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，在液压调节部分作用下，油缸缸体（9）的内侧为进油腔，油缸缸体（9）受到向内侧的作用力，其上固定的压线盘（10）压紧锥形轮（4）端面，切割线在压线盘（10）和锥形轮（4）的挡边结构（16）组成的容线槽内排列；S2，通过电磁阀调整液压调节部分的进油压力，使油缸缸体（9）的推力始终大于切割线对压线盘（10）的侧压力；S3，由伺服电机驱动传动部分，使主轴（2）做高速正反转运动，完成切割线切割；S4，在液压调节部分作用下，油缸缸体（9）的外侧为进油腔，油缸缸体（9）受到向外侧的作用力，其上固定的压线盘（10）脱离锥形轮（4）端面，切割线蓬松发散；S5，拆除锁紧法兰（11），使用把手（14）将滑销（13）向外侧滑移，使滑销（13）的端部脱离油缸缸体（9）上的定位孔，拆除压线盘（10）；旋下长螺