多线切割设备晶向调整机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105563672A(43)申请公布日2016.05.11(21)申请号201510928523.7(22)申请日2015.12.15(71)申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号(72)发明人袁立伟吴学宾付纯鹤(74)专利代理机构北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙)11004代理人宋元松(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D5/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称多线切割设备晶向调整机构(57)摘要本发明公开了多线切割设备晶向调整机构，其包括上板，下板，设置在上板与下板之间的俯仰调整装置，固定在上板下部的大齿轮，与大齿轮配合的水平调整装置，拉伸弹簧；大齿轮通过上转轴、压盖与上板铰接；大齿轮的下端两侧设置有平行的大齿轮凸台，下板的上部两侧设置有平行的下板凸台，大齿轮凸台与下板凸台通过下转轴铰接；俯仰调整装置上的传动板嵌入下板前端的长槽内，水平调整装置上的传动齿条与大齿轮啮合。本发明提供的多线切割设备晶向调整机构应用于晶锭加工技术领域，通过螺纹传动和杠杆联动，实现俯仰角度调节；通过螺纹传动和齿轮齿条啮合，实现水平角度调节；两个方向调节相互独立，互不干涉，提高了调整机构的稳定性及调整精度。CN105563672ACN105563672A权利要求书1/1页1.一种多线切割设备晶向调整机构，其特征在于，包括上板（1），下板（7），设置在上板（1）与下板（7）之间的俯仰调整装置，固定在上板（1）下部的大齿轮（5），与大齿轮（5）配合的水平调整装置，连接在上板（1）与下板（7）之间的拉伸弹簧（9）；其中，大齿轮（5）通过上转轴（11）、压盖（12）与上板（1）铰接；大齿轮（5）的下表面两侧设置有平行的大齿轮凸台（18），下板（7）的上表面两侧设置有平行的下板凸台（19），大齿轮凸台（18）与下板凸台（19）通过下转轴（8）铰接；俯仰调整装置上的传动板（6）嵌入下板（7）前端的长槽（21）内，水平调整装置上的传动齿条（14）与大齿轮（5）啮合。2.根据权利要求1所述的多线切割设备晶向调整机构，其特征在于，所述的俯仰调整装置还包括传动螺母（2）、锁母（3）、下螺杆（4）及小转轴（15）；传动螺母（2）安装在上板（1）前端设置的弧形槽内，传动螺母（2）的外螺纹与锁母（3）螺纹连接，其内螺纹与下螺杆（4）上端的螺纹连接；下螺杆（4）的下端通过小转轴（15）与传动块（6）铰接。3.根据权利要求1所述的多线切割设备晶向调整机构，其特征在于，所述的水平调整装置还包括支撑座（10）、上螺杆（13），上螺杆（13）与支撑座（10）螺纹连接；传动齿条（14）的一端开有与上螺杆（13）螺纹连接的通孔，另一端是与大齿轮（5）啮合的齿条；传动齿条（14）的上侧面设置有齿条凸起（22），齿条凸起（22）与上板（1）上的滑动槽滑动连接。4.根据权利要求1所述的多线切割设备晶向调整机构，其特征在于，所述的上转轴（11）的下端通过螺钉固定在大齿轮（5）中央，其上端与压盖（12）通过螺钉固定。5.根据权利要求1所述的多线切割设备晶向调整机构，其特征在于，所述的上板（1）的中央设置有阶梯孔，压盖（12）嵌入上板（1）的阶梯孔内。6.根据权利要求1所述的多线切割设备晶向调整机构，其特征在于，所述的大齿轮（5）下表面两侧的大齿轮凸台（18）与下板（7）上表面两侧的下板凸台（19）的对应位置设置有下板紧固孔（16）；所述的大齿轮（5）上端面与上板（1）的对应位置设置有上板紧固孔（17）。7.根据权利要求2所述的多线切割设备晶向调整机构，其特征在于，所述的锁母（3）紧贴上板（1）下部，其环向设置有顶丝；所述的传动螺母（2）的下端为外六方形。8.根据权利要求3所述的多线切割设备晶向调整机构，其特征在于，所述的上螺杆（13）的前端为外六方形。9.权利要求1～8中任意一项所述多线切割设备晶向调整机构使用方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，转动传动螺母（2），下螺杆（4）上、下伸缩，传动块（6）在下板（7）的前端的长槽内前、后移动，下板（7）以下转轴（8）为中心俯仰转动α度；S2，调整至合理的俯仰角度后，使用螺钉将下板紧固孔（16）锁紧；S3，转动上螺杆（13），传动齿条（14）在上螺杆（13）的旋转带动下前、后移动，传动齿条（14）带动大齿轮（5）旋转，大齿轮（5）带动下方的俯仰调整装置及下板（7）一起水平转动β度；S4，调整至合理的水平角度后，使用螺钉将上板紧固孔（17）锁紧。10.根据权利要求8所述的多线切割设备晶向调整机构使用方法，其特征在于，所述的α、β的调节范围是±10º。2C