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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105755526A(43)申请公布日2016.07.13(21)申请号201610253410.6(22)申请日2016.04.22(71)申请人河南理工大学地址454003河南省焦作市高新区世纪大道2001号(72)发明人秦歌程丹佛刘建慧(51)Int.Cl.C25D21/10(2006.01)C25D17/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种电沉积装置(57)摘要本发明公开了一种用于电沉积的装置,包括电沉积槽、阴极、阴极移动杆,还包括齿轮、齿轮安装杆和搅拌桨。工作时,阴极移动杆在外力的作用下做水平往复运动,阴极移动杆上的齿条带动齿轮做正反圆周远动,齿轮带动搅拌桨做正反转圆周运动,这样电解液就会在搅拌桨的搅拌作用下快速流动起来,加之搅拌桨外缘位置与阴极面较近,因此,电解液在阴极表面的流场相对比较均匀,从而对电沉积过程中阴极电沉积层厚度的均匀性起到改善作用。CN105755526ACN105755526A权利要求书1/1页1.一种电沉积装置,包括电沉积槽(6)、阴极移动杆(1)、阴极(4),其特征在于:其包括齿轮(2)、齿轮安装杆(5)、搅拌桨(7)。2.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的阴极(4)安装在阴极移动杆(1)一侧;所述的阴极移动杆(1)上设有齿条(3);所述的齿条(3)与齿轮(2)啮合;所述的齿轮(2)旋转固定在齿轮安装杆(5)上;所述齿轮安装杆(5)固定在电沉积槽(6)壁面上;所述的搅拌桨(7)同轴线安装在齿轮轴(8)上。3.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的阴极移动杆(1)平行安装在电沉积槽(6)壁面上方。4.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的阴极移动杆(1)可在外力作用下水平往复移动。5.根据权利要求2所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的齿轮轴(8)可根据电沉积槽(6)的尺寸和工艺要求对其数量进行增减。6.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述搅拌桨(7)外缘与阴极(4)面之间设有一定距离,其距离可调。7.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的搅拌桨(7)为耐化学腐蚀的电绝缘材料。2CN105755526A说明书1/2页一种电沉积装置技术领域[0001]本发明涉及一种电沉积装置,特别涉及一种改善阴极电沉积层厚度均匀性的装置。背景技术[0002]目前,工业生产中,为增加电沉积速度和溶液中离子扩散速度,经常增加电解液搅拌装置。电沉积(包括电镀、电铸)电解液的搅拌大多使用空气搅拌、液体循环搅拌或者阴极移动装置。空气搅拌虽然可以使溶液混合均匀,但是对于电沉积过程中要求避免离子氧化的电沉积过程不宜使用,而且空气搅拌不能保证阴极表面形成稳定的流场,所以对电沉积成分和电沉积层厚度的均匀性都会产生影响;阴极移动搅拌装置中,阴极移动搅拌更容易使阴极面获得均匀的传质分布,但阴极移动搅拌的强度一般不高,且对整个电沉积槽的全局搅拌作用比较低,导致沉积速度普遍不高,主要原因是:常规的阴极移动搅拌只是借助工件(阴极)与电解液间的剪切作用来带动电解液运动,如果工件阴极是平面薄片状,其搅拌作用是非常弱的。尽管至今有多种阴极搅拌装置被开发出来,但仍然未达到十分理想的效果。[0003]因此,电沉积过程在既能充分实现电镀液的混合、又能保证阴极表面流场均匀性的电沉积槽中进行,才能有效改善电沉积层厚度的均匀性。发明内容[0004]针对上述问题,本发明的目的是提供一种改善电沉积层厚度均匀性的电沉积装置。[0005]本发明采用的技术方案是:一种电沉积装置,包括电沉积槽、阴极移动杆、阴极,其特征在于:其包括齿轮、齿轮安装杆和搅拌桨。所述的阴极安装在阴极移动杆一侧;所述的阴极移动杆上设有齿条;所述的齿条与齿轮啮合;所述的齿轮可旋转固定在齿轮安装杆上;所述齿轮安装杆固定在电沉积槽壁面上;所述搅拌桨同轴线安装在齿轮轴上。[0006]优选地,所述的阴极移动杆平行设置在电沉积槽壁面上方。[0007]优选地,所述阴极移动杆可在外力作用下做往复运动。[0008]优选地,所述的齿轮轴可根据电沉积槽的尺寸和工艺要求对其数量进行增减。[0009]优选地,搅拌桨外缘与阴极面之间设有一定距离,其距离可调。[0010]优选地,所述的搅拌桨采用耐化学腐蚀的电绝缘材料。[0011]本发明所涉及的机构工作原理为:阴极移动杆在外力的作用下做水平往复运动时,阴极移动杆上的齿条带动齿轮做正反转圆周远动,齿轮带动搅拌桨做正反圆周运动,电解液在搅拌桨的搅拌作用下快速流动起来,加之搅拌桨外缘位置与阴极面较近,因此,电解液在阴极表面的流场相对比较均匀,从而使电沉积过程中阴极电沉积层厚度的均匀性