多样品单通道自动切换进样系统及其进样方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105911303A(43)申请公布日2016.08.31(21)申请号201610396132.X(22)申请日2016.06.07(71)申请人合肥科晶材料技术有限公司地址230031安徽省合肥市长江西路669号华源实业园(72)发明人朱沫浥王伟邾根祥江晓平王卫(74)专利代理机构合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)34126代理人宣圣义(51)Int.Cl.G01N35/10(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称多样品单通道自动切换进样系统及其进样方法(57)摘要本发明提供的一种多样品单通道自动切换进样系统，包括直线丝杠传动机构与行星齿轮式转动切换机构；一种使用上述多样品单通道自动切换进样系统的进样方法，包括利用直线丝杠传动机构中的推送杆，将行星齿轮式转动切换机构中的各种样品推送入工作区域。本发明结构简单、使用方便，能够实现多样品的单个有序进出切换，可实现多层沉积薄膜的一次性试验，无需多次打开实验设备，操作快速稳定，并有效的避免了污染的产生。CN105911303ACN105911303A权利要求书1/1页1.一种多样品单通道自动切换进样系统，其特征在于：包括机架，机架上安装有进样机构，切换机构及控制系统，进样机构，设有推送杆；切换机构，设有多组用于分别存放各种样品的物料舱室；控制系统，控制推送杆推送各物料舱室的样品。2.根据权利要求1所述的多样品单通道自动切换进样系统，其特征在于：所述进样机构为直线丝杠传动机构。3.根据权利要求1所述的多样品单通道自动切换进样系统，其特征在于：所述切换机构为行星齿轮式转动切换机构。4.根据权利要求2所述的多样品单通道自动切换进样系统，其特征在于：所述进样机构包括左导轨台及右导轨台，左导轨台及右导轨台之间连接设有导轨及直线丝杠，导轨及直线丝杠上穿设有可沿其往复移动的滑动台，滑动台的一侧设有为其提供滑动动力的进样电机，直线丝杠上还平行设有内置温度传感器的推送杆，推送杆一端固定在滑动台上，另一端架设于右导轨台，并设有连接接口，滑动台与连接接口之间的推送杆密封套设在压缩波纹管中。5.根据权利要求3所述的多样品单通道自动切换进样系统，其特征在于：所述切换机构包括具有真空腔的舱室，舱室的两开口端分别盖设有前盖板及后盖板，舱室内密封设有行星齿轮机构，行星齿轮机构包括沿舱室直径方向隔设的齿轮固定盘，齿轮固定盘的中部设有传动主轴孔，传动主轴孔的周围沿圆周方向均布设有大行星轮孔，相邻的大行星轮孔之间设有小行星轮孔，传动主轴插设在传动主轴孔中，前盖板朝向舱室的面上，设有套设在传动主轴上的太阳轮，大行星轮及小行星轮通过轴承分别安装在大行星轮孔及小行星轮孔中，大行星轮与小行星轮啮合设置在太阳轮的周围，小行星轮与相邻的大行星轮相啮合，大行星轮孔中还穿设有物料舱室，物料舱室一端从大行星轮的中心孔穿过，另一端延伸至后盖板，后盖板上开设有出料口及放置口，各物料舱室可对接在出料口及放置口上，前盖板外设有切换电机、同步带及磁流体，传动主轴通过磁流体密封后与切换电机的输出轴通过同步带传动连接，前盖板上设有与进样机构的连接接口相接，并可与各物料舱室分别对应相通的推送接口。6.根据权利要求5中所述的多样品单通道自动切换进样系统，其特征在于：所述样品放置在物料坩埚中，推送杆可与物料坩埚相连接。7.一种使用如权利要求6所述的多样品单通道自动切换进样系统的进样方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）、将各种样品分别对应放于各物料坩埚后，分别放入切换机构中的各物料舱室，推送杆位于切换机构的外部，物料坩埚与出料口错位；（2）、行星齿轮机构运行，各物料舱室相对转动，推送其中一个物料舱室的物料坩埚对准一个出料口，推送杆连接该物料坩埚；（3）、推送杆推动该物料坩埚进入工作区域；（4）、推送杆带动该物料坩埚收回至其对应的物料舱室，推送杆脱离该物料坩埚；（6）、重复步骤（2）-（5），依次完成对其它各物料舱室中物料坩埚的推送及收回。2CN105911303A说明书1/4页多样品单通道自动切换进样系统及其进样方法[0001]技术领域[0002]本发明涉及材料研究设备技术领域，具体涉及一种多样品单通道自动切换进样系统及其进样方法。[0003]背景技术[0004]目前，随着材料研究技术的不断发展，对二维材料的研究贯穿着整个材料研究行业。现有技术中，更多的材料研究集中在了对固态和液态沉积源的多层沉积生长方向上。现有的沉积设备，由于多层沉积需要对沉积源进行切换，很多实验是在一层沉积完后再次更换沉积源和设备进行2-3次的沉积。由于被沉积物与沉积源需要打开设备后更换，无法避免污染，并且沉积需要反复的打开停止设备以用来更换样品，所以需要一种简化操作，在一次实