磁性复合流体集群式抛光头.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106181762A(43)申请公布日2016.12.07(21)申请号201610534389.7(22)申请日2016.07.08(71)申请人上海理工大学地址200093上海市杨浦区军工路516号(72)发明人姜晨郝宇刘云飞吴涛程金义(74)专利代理机构上海申汇专利代理有限公司31001代理人吴宝根王晶(51)Int.Cl.B24B41/04(2006.01)B24B31/10(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称磁性复合流体集群式抛光头(57)摘要本发明涉及一种磁性复合流体集群式抛光头，包括连接支架、磁铁转轴、载液盘转轴、载液盘转轴底部端盖、带轮机构、V带、载液盘、驱动电机，所述连接支架内装有三个磁铁转轴，每个磁铁转轴设有可调磁铁以及可调磁铁自转的偏心距机构，并连接一个驱动电机，所述连接支架下端通过载液盘转轴底部端盖连接用于携带磁性抛光液旋转的载液盘转轴，载液盘转轴通过V带连接带轮机构，带轮机构连接驱动电机。通过调整三个磁体转轴的转速、调整磁铁转轴携带的磁铁磁性大小、改变磁铁自转的偏心距可以对抛光过程材料的去除率实施有效控制。本发明具有结构紧凑，体积小和质量轻的优点。CN106181762ACN106181762A权利要求书1/1页1.一种磁性复合流体集群式抛光头，包括连接支架(3)、磁铁转轴(4)、载液盘转轴(5)、载液盘转轴底部端盖(6)、带轮机构(7)、V带(8)、载液盘(26)、驱动电机，其特征在于：所述连接支架(3)内装有三个磁铁转轴(4)，每个磁铁转轴(4)设有可调磁铁以及可调磁铁自转的偏心距机构，并连接一个驱动电机，通过调节磁体转轴转速、调整磁铁转轴携带的磁铁磁性大小、改变磁铁自转的偏心距来控制抛光过程材料的去除率；所述连接支架(3)下端通过载液盘转轴底部端盖(6)连接用于携带磁性抛光液旋转的载液盘转轴(5)，载液盘转轴(5)通过V带(8)连接带轮机构(7)，带轮机构(7)连接驱动电机。2.根据权利要求1所述的磁性复合流体集群式抛光头，其特征在于：所述连接支架(3)内设有连接支架通孔(9)，连接支架环形腔(10)，连接支架圆柱腔(11)，三个连接支架圆柱腔(11)内通过三对上下配合使用的转轴底部端盖(6)和螺栓(1)安装三个磁铁转轴(4)；连接支架环形腔(10)内部装有载液盘转轴(5)，载液盘转轴(5)通过载液盘转轴底部端盖(6)和螺栓(1)与连接支架(3)连接，所述连接支架环形腔(10)上侧端面铣有浅槽，用于载液盘转轴(5)中的轴承定位固定；所述连接支架通孔(9)为沉头孔，用于驱动电机的安装。3.根据权利要求1所述的磁性复合流体集群式抛光头，其特征在于：所述磁铁转轴(4)包括磁铁(13)、磁铁盘(14)、磁铁转轴主轴(15)、角接触球轴承(16)，所述磁铁盘(14)通过方形沉头槽与磁铁转轴主轴(15)配合连接，并用磁铁转轴用螺栓(12)固定；所述磁铁盘(14)上设置三个用于调节磁铁(13)偏心离的不同位置的螺纹孔，磁铁盘(14)通过磁铁转轴用螺栓(12)与磁铁盘(14)固定连接；所述磁铁转轴主轴(15)通过一对角接触球轴承(16)与连接支架(3)的连接支架圆柱腔(11)配合连接。4.根据权利要求1所述的磁性复合流体集群式抛光头，其特征在于：所述载液盘转轴(5)包括深沟球轴承(21)，载液盘转轴挡圈(22)，带连接支架(23)，带传动挡圈(24)，载液盘转轴用螺栓(25)，载液盘(26)；所述连接支架(23)通过载液盘转轴用螺栓(25)固定连接带传动挡圈(24)，带连接支架(23)的轴肩两侧设有一对深沟球轴承(21)，两个深沟球轴承(21)之间设有载液盘转轴挡圈(22)，用于两个深沟球轴承间辅助固定，下侧的深沟球轴承的内圈与带传动挡圈(24)上边缘定位固定连接；所述带连接支架(23)下端通过载液盘转轴用螺栓(25)固定连接用于携带磁性抛光液的载液盘(26)。2CN106181762A说明书1/3页磁性复合流体集群式抛光头技术领域[0001]本发明涉及一种抛光头机构，尤其是一种用于对抛光过程材料的去除率实现有效控制的磁性复合流体集群式抛光头机构。背景技术[0002]随着航空航天、电子、通信、光学等领域的发展，多个领域对光学玻璃元件表面抛光精度要求日益提高。但传统光学玻璃元件的超精密制造仍然存在一些问题，超精密磨削和车削工艺能够达到很高的形状精度，但是表面质量和亚表面损伤难以满足技术要求。磁性复合流体抛光，作为一种新型纳米级超精密加工技术，具有抛光过程可控、加工后光学表面面形精度高、不产生亚表面损伤、抛光头尺寸可控可变、可实现非球面光学元件中频误差修正加工等优点，应用前景潜力巨大。发明内容[0003]本发