砂轮倒角方法、砂轮倒角装置.pdf
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砂轮倒角方法、砂轮倒角装置.pdf
本发明涉及砂轮倒角方法和装置。该砂轮倒角方法包括:提供一金刚轮(10),其包括一第一旋转轴(R1);设置所述金刚轮(10)使其垂直于所述砂轮(20);将所述金刚轮(10)和所述砂轮(20)进行对刀操作,并建立一平面坐标系(UW),所述平面坐标系(UW)所在平面(S)垂直于所述砂轮(20);在所述平面坐标系(UW)内建立一运动路径(P),所述运动路径(P)包括一圆弧(P1);和驱动所述金刚轮(10)和所述砂轮(20)旋转,并控制所述金刚轮(10)的所述第一旋转轴(R1)在所述平面坐标系(UW)内的投影(T)
一种加工厚层外延用硅单晶片的倒角砂轮及倒角方法.pdf
本发明涉及一种加工厚层外延用硅单晶片的倒角砂轮及倒角方法。砂轮粗倒角槽直径比晶片厚度小120~150μm,半角度18~22°,深度1000±100μm,金刚石粒度600~1000#;精倒角槽直径比晶片厚度小160~180μm,半角度11°,深度1500±100μm,金刚石粒度1000~2000#。粗倒角砂轮转速2500~5000rpm;加工1~2圈;晶片转速16~20mm/s;精倒角砂轮转速3000~5000rpm;加工2~4圈;晶片转速10~15mm/s。采用本发明对晶片边缘倒角,边缘轮廓精度高,边缘质
双面倒角机的砂轮支撑机构.pdf
本发明公开了一种双面倒角机的砂轮支撑机构,由倒角机机架、对称设置在倒角机机架左右两侧的砂轮主托架、砂轮进刀量调节螺杆、砂轮电机上下调节螺杆、砂轮电机角度调节弧形杆、砂轮电机水平调节托板和砂轮电机支承板等组成。该机构能实现砂轮进刀量、砂轮上下以及砂轮角度的全方位调节,以满足各种规格的工件倒角要求,大大降低了设备成本和管理成本,提高了生产效率。
倒角装置和倒角方法.pdf
本发明涉及一种倒角装置和倒角方法,更具体地说,涉及一种用于实现玻璃基板的边缘倒角的装置,包括:加热元件,所述加热元件接触所述玻璃基板的所述边缘的拐角并且使热量透过所述玻璃基板的所述边缘;以及,移动单元,所述移动单元用于使得所述加热元件沿所述玻璃基板的所述边缘滑动,其中,所述移动单元使得所述加热元件滑动,以使得所述玻璃基板的所述边缘的所述拐角沿着所述加热元件的移动方向自然地剥离,从而连续地产生切屑以倒角所述玻璃基板。
一种碳化硅衬底倒角用砂轮及其制备方法.pdf
本发明属于碳化硅衬底加工技术领域,具体涉及一种用于2英寸及以上规格碳化硅衬底的倒角用砂轮及其制备方法。所述碳化硅衬底倒角用砂轮,包括基体和磨料层,所述磨料层包括以下重量份的原料:磨料20‑30份,金属结合剂56‑95份,添加剂1‑7份;所述添加剂是氯化钠、氯化钾、碳酸钠、碳酸钾中的一种或几种任意比例混合物。本发明的砂轮配方、加工工艺简单,操作简便;可对2英寸及以上尺寸的碳化硅衬底进行倒角加工,加工效果好,工件在高亮白光下目测无锯齿和崩口现象。