一种悬挂定位机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106291853A(43)申请公布日2017.01.04(21)申请号201510270153.2(22)申请日2015.05.24(71)申请人上海微电子装备有限公司地址201203上海市浦东新区张东路1525号(72)发明人李素平刘剑(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237代理人屈蘅李时云(51)Int.Cl.G02B7/00(2006.01)H01L21/68(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图7页(54)发明名称一种悬挂定位机构(57)摘要本发明公开了一种悬挂定位机构，包括运动组件和不动组件，运动组件包括：本体、设于本体一侧的至少两个接触块、一个凹槽、一个一端收容在凹槽内的挂钩和设于本体底部若干高度可调的滑轮组件；不动组件的一侧包括：与接触块相配合的支撑组件和提升组件、与挂钩相配合的挂钩定位组件和挂钩拨杆组件、以及用于定位运动组件的X向定位件和Y向定位件。本发明通过设置接触块和具有平衡功能的支撑组件，可有效提高运动组件的定位稳定性和可靠性，同时设置提升组件提高了光学系统重复定位和拆装速度；采用高度可调的若干滑轮组件，有效调节运动组件的整体位置，防止其在定位过程中与不动组件上方的零部件发生碰撞，操作简单方便，效果稳定可靠。CN106291853ACN106291853A权利要求书1/1页1.一种悬挂定位机构，包括运动组件和不动组件，其特征在于，所述运动组件包括：本体，设于本体一侧的至少两个接触块、一个凹槽、一个一端收容在凹槽内的挂钩和设于本体底部若干高度可调的滑轮组件；所述不动组件的一侧包括：与所述接触块相配合的支撑组件和提升组件、与所述挂钩相配合的挂钩定位组件和挂钩拨杆组件、以及用于所述定位运动组件的X向定位件和Y向定位件。2.根据权利要求1所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述接触块设于所述本体一侧底部，且前端从本体底部伸出，前端上表面向上凸起，前端底面向下凸伸形成带有圆弧面的凸轨。3.根据权利要求2所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述支撑组件包括旋转轴、套设在旋转轴上且数量与接触块相对应的支撑块、以及与旋转轴一端连接的旋转块，所述支撑块与YZ平面设有夹角，指向X轴负方向，且支撑块上端面为与所述凸轨相适配的弧面。4.根据权利要求3所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述提升组件包括顶块、设于顶块两侧下方的凸轮、与所述凸轮一侧贴合联轴器和驱动所述联轴器转动的传动机构，所述顶块上端面高于所述支撑块上端面。5.根据权利要求1所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述挂钩包括固定在所述凹槽内的固定端，自由端以及连接所述固定端和自由端的连接部。6.根据权利要求5所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述连接部延伸至自由端的外边缘，且在靠近自由端的底部设有凸缘。7.根据权利要求1所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述滑轮组件包括滑轮、连接板和调整杆，所述连接板设于所述滑轮上方，所述调整杆一端连接滑轮，另一端从连接板由下而上穿出，调整杆与连接板相对位置可调，所述连接板与所述运动组件底部固定连接。8.根据权利要求1所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述挂钩定位组件包括向前凸伸的两臂，所述两臂底部设有收容挂钩自由端的开槽。9.根据权利要求1所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述挂钩拨杆组件包括与挂钩凸缘相适配的拨叉、控制所述拨叉的转动杆、固定所述转动杆的固定架、带动转动杆旋转的旋转手柄、以及位置与所述旋转手柄对应的锁紧件。10.根据权利要求1所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述X向定位件的位置与所述支撑组件的位置相对应，包括数量与所述接触块对应的X向定位块。11.根据权利要求10所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述X向定位块沿X轴正向的前端面为向外凸起的弧面，沿Z轴负向的下端面为斜面。12.根据权利要求11所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述斜面与XY平面的夹角与挂钩定位过程中的旋转角度相对应。13.根据权利要求1所述的悬挂定位机构，其特征在于，所述Y向定位件包括沿Y轴间距设置的Y向调节块和Y向压紧弹簧。2CN106291853A说明书1/6页一种悬挂定位机构技术领域[0001]本发明涉及光学系统的定位领域，具体涉及一种悬挂定位机构。背景技术[0002]在半导体制造中通常需要进行运动模块相对于固定模块的定位。通常情况下，由于空间结构等限制，在光学系统的对接中，往往需要针对系统的侧面进行固定和定位。由于光学系统的整个装调、测试、运输和维护等要求，系统之间往往需要多次拆装和定位，这就要求定位机构满足较高的重复定位精度。[0003]在传统的侧面定位装置中，普遍采用工装进行定位。该种定位方式是首先在不动组件上安装一个工装，然后移动运动组件到工装上，使