高频电感器及其量产方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号CN106328358B(45)授权公告日2018.05.18(21)申请号201510506214.0(51)Int.Cl.(22)申请日2015.08.18H01F27/30(2006.01)H01F27/32(2006.01)(65)同一申请的已公布的文献号H01F19/04(2006.01)申请公布号CN106328358AH01F41/00(2006.01)(43)申请公布日2017.01.11(56)对比文件(30)优先权数据TW490689B,2002.06.11,1041205302015.06.25TWTW490689B,2002.06.11,(73)专利权人威华微机电股份有限公司CN102800647A,2012.11.28,地址中国台湾苗栗县JP特开2003-115403A,2003.04.18,CN203552851U,2014.04.16,(72)发明人萧铭河李邦彦曾彦豪CN204946679U,2016.01.06,(74)专利代理机构北京泰吉知识产权代理有限审查员吴彤公司11355代理人张雅军谢琼慧权利要求书2页说明书10页附图28页(54)发明名称高频电感器的量产方法(57)摘要本发明提供一种高频电感器，包含：一主体与一第一线圈。该主体具有一轮廓面，该主体的轮廓面包括相反设置的一第一侧缘及一第二侧缘，并是由一非磁性材料所构成，且为一体者。该第一线圈设置于该主体并包括多个顶部段、多个纵部段，及多个底部段。所述顶部段、所述纵部段与所述底部段是沿一自该主体的该第一侧缘朝该第二侧缘的第一方向彼此间隔排列。所述顶部段与所述底部段是分别设置于该主体的轮廓面的一顶面区与一底面区，且各顶部段是通过其相邻的两纵部段的相反两端缘沿该第一方向以与各底部段依序电性连接。本发明也提供前述高频电感器的量产方法。CN106328358BCN106328358B权利要求书1/2页1.一种高频电感器的量产方法，其特征在于：包含以下步骤：一步骤(a)，是至少于一基板的一上表面或一下表面上形成一具有一预定图案的第一光阻层，该预定图案具有一覆盖该基板的上表面或下表面的数组，该数组具有多个外观形状，且各外观形状沿一第一方向依序具有彼此连接的一基座部、至少一桥接部与一本体部，所述外观形状的本体部是沿该第一方向或沿一与该第一方向夹一预定角度的第二方向彼此间隔排列，且该基板是由一非磁性材料所构成；一步骤(b)，是对该基板进行蚀刻，以令裸露于该第一光阻层的预定图案的数组外的基板被移除掉，并从而形成多个基座、多个对应连接于各基座的连接部，及多个主体，各主体具有一轮廓面，各主体的轮廓面包括相反设置的一第一侧缘及一第二侧缘，各基座与各连接部分别具有一轮廓面，各基座的轮廓面包括相反设置的一第一侧缘及一第二侧缘，且各连接部的轮廓面包括相反设置的一第一端与一第二端，各连接部的第一端与第二端是分别对应连接于各基座的第二侧缘与各主体的第一侧缘，以令各连接部的轮廓面是对应衔接于各主体的轮廓面与各基座的轮廓面；一步骤(c)，是移除该第一光阻层；一步骤(d)，是于该步骤(c)后，于各主体的轮廓面上形成一第一前驱物层；一步骤(e)，是于所述第一前驱物层上形成一第二光阻层，且该第二光阻层具有多个对应裸露出各第一前驱物层的一局部区域的线路图案区；一步骤(f)，是于该步骤(e)后，于各第一前驱物层上镀制一第一金属层，以于各第一前驱物层的该局部区域上形成一设置于各主体的第一线圈，各第一线圈包括多个顶部段、多个纵部段，及多个底部段，各第一线圈的所述顶部段、所述纵部段与所述底部段是沿该第一方向彼此间隔排列，各第一线圈的所述顶部段与所述底部段是分别设置于各自所对应的主体的轮廓面的顶面区与底面区，且各第一线圈的各顶部段是通过其相邻的两纵部段的相反两端缘沿该第一方向与各底部段依序电性连接；及一步骤(g)，是于该步骤(f)后，于所述连接部处由上而下或由下而上地分别施予一外力，使各连接部的第二端自各主体的第一侧缘断裂，从而令各主体自各连接部脱离以量产出多个高频电感器。2.根据权利要求1所述的高频电感器的量产方法，其特征在于：该步骤(a)所形成的第一光阻层的数量是两个，且所述第一光阻层的预定图案的所述外观形状是彼此上下对准。3.根据权利要求2所述的高频电感器的量产方法，其特征在于：各第一光阻层的各外观形状的本体部具有两排分设于其本体部的一周缘的缺口，且各本体部的该两排缺口是自其本体部的周缘相向凹陷。4.根据权利要求2所述的高频电感器的量产方法，其特征在于：各第一光阻层的各外观形状的本体部具有两排分设于其本体部的孔洞，各本体部的该两排孔洞是沿该第一方向彼此间隔排列。5.根据权利要求2所述的高频电感器的量产方法，其特征在于：该