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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106378708A(43)申请公布日2017.02.08(21)申请号201611109229.4(22)申请日2016.12.02(71)申请人天津众晶半导体材料有限公司地址300400天津市北辰区西堤头镇工业区福康道(72)发明人薛佳伟薛佳勇王海军(74)专利代理机构天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211代理人丁晓玥(51)Int.Cl.B24B41/06(2012.01)B24B7/16(2006.01)B24B7/22(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种硅棒端面研磨机(57)摘要本发明提供了一种硅棒端面研磨机,属于研磨设备技术领域,包括一机架,机架上设有一研磨机构和一夹持机构,研磨机构位于机架的顶部,夹持机构位于机架的底部,研磨机构包括汽缸一,汽缸一的缸体固定于机架的顶部,汽缸一的输出端设有一砂轮,砂轮由一电机驱动;夹持机构包括一底盘,底盘上均匀分布有若干个滑轨,滑轨呈辐射状分布,滑轨上滑动连接一滑块,滑块由汽缸二驱动,汽缸二的缸体固定于底盘的外侧,汽缸二的输出端固定于滑块的一端,滑块的另一端设有一推杆。本发明结构简单,设计合理,使用方便,能够稳定的固定硅棒,可将硅棒的两个端面研磨成平面,有利于后期加工出精度更高的硅棒。CN106378708ACN106378708A权利要求书1/1页1.一种硅棒端面研磨机,其特征在于:包括一机架,所述机架上设有一研磨机构和一夹持机构,所述研磨机构位于机架的顶部,所述夹持机构位于机架的底部,所述研磨机构包括汽缸一,所述汽缸一的缸体固定于机架的顶部,所述汽缸一的输出端设有一砂轮,所述砂轮由一电机驱动;所述夹持机构包括一底盘,所述底盘上均匀分布有若干个滑轨,所述滑轨呈辐射状分布,所述滑轨上滑动连接一滑块,所述滑块由汽缸二驱动,所述汽缸二的缸体固定于底盘的外侧,所述汽缸二的输出端固定于滑块的一端,所述滑块的另一端设有一推杆。2.根据权利要求1所述的硅棒端面研磨机,其特征在于:所述砂轮为碗状结构。3.根据权利要求1所述的硅棒端面研磨机,其特征在于:所述砂轮的内部为铝基合金材质,外表面为金刚砂材质。4.根据权利要求1所述的硅棒端面研磨机,其特征在于:所述滑块为横截面为燕尾型。5.根据权利要求1所述的硅棒端面研磨机,其特征在于:所述底盘上均匀分布有三个滑轨。6.根据权利要求1所述的硅棒端面研磨机,其特征在于:所述推杆的自由端设有一推板。7.根据权利要求6所述的硅棒端面研磨机,其特征在于:所述推板的横截面为圆弧形结构,所述推板的凹面朝向底盘的圆心设置。8.根据权利要求7所述的硅棒端面研磨机,其特征在于:所述推板的凸面上设有一固定板,所述固定板上设有固定孔。9.根据权利要求8所述的硅棒端面研磨机,其特征在于:所述推杆的自由端设有一插槽和插孔,所述插孔贯穿插槽,所述插孔的方向垂直于插槽,所述固定板插入插槽内,并由螺栓穿过插孔与固定孔进行固定。10.根据权利要求1所述的硅棒端面研磨机,其特征在于:所述底盘的中心设有一缓冲垫。2CN106378708A说明书1/3页一种硅棒端面研磨机技术领域[0001]本发明涉及研磨设备技术领域,具体是一种硅棒端面研磨机。背景技术[0002]硅棒在加工时需要将硅棒的两端夹紧,然后在滚磨机上进行研磨,得到圆柱状结构的硅棒。但是加工前的硅棒的两个端面不是平面,而是不均匀的,与夹具接触时不是面面接触,而是点面接触,这样在研磨过程中硅棒固定不稳定,导致研磨出来的硅棒的圆度不够,甚至研磨出横截面为椭圆状的硅棒。因此在硅棒研磨之前需要将其两个端面研磨成平面,以解决上述问题。本发明提供了一种硅棒端面研磨机,能够稳定的固定硅棒,可将硅棒的两个端面研磨成平面,有利于后期加工出精度更高的硅棒。发明内容[0003]有鉴于此,本发明旨在提供提供了一种结构简单,设计合理,使用方便,能够稳定的固定硅棒,可将硅棒的两个端面研磨成平面,有利于后期加工出精度更高的硅棒的硅棒端面研磨机。[0004]为达到上述目的,本发明的技术方案是这样实现的:一种硅棒端面研磨机,包括一机架,所述机架上设有一研磨机构和一夹持机构,所述研磨机构位于机架的顶部,所述夹持机构位于机架的底部,[0005]所述研磨机构包括汽缸一,所述汽缸一的缸体固定于机架的顶部,所述汽缸一的输出端设有一砂轮,所述砂轮由一电机驱动;[0006]所述夹持机构包括一底盘,所述底盘上均匀分布有若干个滑轨,所述滑轨呈辐射状分布,所述滑轨上滑动连接一滑块,所述滑块由汽缸二驱动,所述汽缸二的缸体固定于底盘的外侧,所述汽缸二的输出端固定于滑块的一端,所述滑块的另一端设有一推杆。[0007]进一步地,所述砂轮为碗状结构。[0008]进一步地,所述砂轮的内