一种曝光机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106406038A(43)申请公布日2017.02.15(21)申请号201610922204.X(22)申请日2016.10.21(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人合肥鑫晟光电科技有限公司(72)发明人张力舟高鸿飞吴彬马纪艳高琪王辉王志强(74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司11274代理人申健(51)Int.Cl.G03F9/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图1页(54)发明名称一种曝光机(57)摘要本发明提供了一种曝光机，涉及曝光技术领域，以在满足从多个方向对掩膜版和显示基板进行对位的同时，降低曝光机的生产成本。其中，所述曝光机包括两套检出系，所述两套检出系所在的平面平行且高于掩膜版所在的平面，两套所述检出系分别平行且对应于所述掩膜版相对的第一边和第二边，所述曝光机还包括驱动模块、以及通过履带连接的主动轮和从动轮，所述两套检出系固装在所述从动轮的端面上，所述主动轮与所述驱动模块连接，所述驱动模块能够驱动所述主动轮转动，所述从动轮在所述主动轮的带动下转动，所述两套检出系在所在平面内随所述从动轮转动第一角度；其中，所述第一角度为大于零的任一角度值。本发明提供的曝光机用于对显示基板进行曝光。CN106406038ACN106406038A权利要求书1/2页1.一种曝光机，所述曝光机包括两套检出系，所述两套检出系所在的平面平行且高于掩膜版所在的平面，两套所述检出系分别平行且对应于所述掩膜版相对的第一边和第二边，其特征在于，所述曝光机还包括驱动模块、以及通过履带连接的主动轮和从动轮，所述两套检出系固装在所述从动轮的端面上，所述主动轮与所述驱动模块连接，所述驱动模块能够驱动所述主动轮转动，所述从动轮在所述主动轮的带动下转动，所述两套检出系在所在平面内随所述从动轮转动第一角度；其中，所述第一角度为大于零的任一角度值。2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述掩膜版为矩形，所述第一角度为90°。3.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，称所述掩膜版的垂直于所述第一边的两条边分别为第三边和第四边，所述第一边处、所述第二边处、所述第三边处和所述第四边处均设置有对位标记和间距测量窗口；所述检出系包括：长条状的传感器载体、安装在所述传感器载体上的对位镜头和安装在所述传感器载体上的间距测量传感器；其中，所述长条状的传感器载体与所述第一边平行；一套所述检出系的对位镜头在所述掩膜版上的垂直投影与所述第一边处的对位标记重叠，同套所述检出系的间距测量传感器在所述掩膜版上的垂直投影与所述第一边处的间距测量窗口重叠；另一套所述检出系的对位镜头在所述掩膜版上的垂直投影与所述第二边处的对位标记重叠，同套所述检出系的间距测量传感器在所述掩膜版上的垂直投影与所述第二边处的间距测量窗口重叠；或者，所述长条状的传感器载体与所述第三边平行；一套所述检出系的对位镜头在所述掩膜版上的垂直投影与所述第三边处的对位标记重叠，同套所述检出系的间距测量传感器在所述掩膜版上的垂直投影与所述第三边处的间距测量窗口重叠；另一套所述检出系的对位镜头在所述掩膜版上的垂直投影与所述第四边处的对位标记重叠，同套所述检出系的间距测量传感器在所述掩膜版上的垂直投影与所述第四边处的间距测量窗口重叠。4.根据权利要求3所述的曝光机，其特征在于，每套所述检出系包括两个间距测量传感器，所述两个间距测量传感器相对于所属检出系的对位镜头对称，且所述两个间距测量传感器所在的直线与所属检出系的长条状的传感器载体平行；所述掩膜版的对应所述检出系的边处的所述间距测量窗口的数量为两个，所述检出系的两个间距测量传感器在所述掩膜版上的垂直投影分别与对应边处的两个间距测量窗口对应重叠。5.根据权利要求4所述的曝光机，其特征在于，所述对位镜头位于所属检出系的长条状的传感器载体的中心。6.根据权利要求3～5任一项所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括垂直于所述长条状的传感器载体的导轨，所述导轨位于两个所述长条状的传感器载体所在的平面内，两个所述长条状的传感器载体的一端均安装在所述导轨上，所述长条状的传感器载体通过所述导轨固装在所述从动轮的端面上。7.根据权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述导轨的数量为两根，所述长条状的传感器载体的两端分别对应安装在两根所述导轨上。8.根据权利要求3～5任一项所述的曝光机，其特征在于，所述间距测量传感器包括：探测激光发射子单元，所述探测激光子发射单元用于穿过所述间距测量窗口向待曝光2CN106406038A权利要求书2/2页的显示基板的表面发射探测激光；探测激光接收子单元，所述探测激光接收子单元用于穿过所述间距测量窗口接收经