一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106449484A(43)申请公布日2017.02.22(21)申请号201610947950.4(22)申请日2016.10.26(71)申请人南京华东电子信息科技股份有限公司地址210033江苏省南京市栖霞仙林大学城天佑路7号(72)发明人王文程王晓虹(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204代理人柏尚春(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置(57)摘要本发明公开了一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置，包括水平卡套，水平卡套一端设置成凹槽，另一端延伸出一块连接板通过固定连接件与基座相连接，所述水平卡套一端的凹槽左右两边的内径与导向轮的直径相同，导向轮刚好卡入凹槽内。本发明导向轮水平校准的装置结构简单、使用方便快速减少作业时间，提高工作效率；不同人员操作均能调整到位，不会因人而异产生误差，保证安装后的导向轮的水平精度，减少设备破片率，提高设备稳定性。CN106449484ACN106449484A权利要求书1/1页1.一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置，其特征在于，包括水平卡套(1)，水平卡套(1)一端设置成凹槽(2)，另一端延伸出一块连接板(3)通过固定连接件(4)与基座(5)相连接，所述水平卡套(1)一端的凹槽(2)左右两边的内径与导向轮(6)的直径相同，导向轮(6)刚好卡入凹槽(2)内。2.根据权利要求1所述的用于TFT设备中导向轮水平校准的装置，其特征在于，所述基座(5)与导向轮(6)两边的传送轴(7)水平接触。3.根据权利要求1所述的用于TFT设备中导向轮水平校准的装置，其特征在于，所述凹槽(2)内壁上设置有刻度尺。4.根据权利要求1所述的用于TFT设备中导向轮水平校准的装置，其特征在于，所述固定连接件(4)为螺丝。5.根据权利要求1所述的用于TFT设备中导向轮水平校准的装置，其特征在于，所述导向轮(6)刚好卡入水平卡套(1)的凹槽(2)内无任何偏差，俯视导向轮(6)确认与凹槽(2)内侧完全接触，且基座(5)在传动轴(7)无倾斜，确认导向轮(6)已经水平。2CN106449484A说明书1/2页一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置技术领域[0001]本发明涉及平板显示行业设备中的导向轮(GuideRoller)，具体涉及一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置。背景技术[0002]在现有的TFT(薄膜晶体管)设备生产线上，在各生产设备间的过渡单元及一些超长设备里都会设置导向轮(GuideRoller)对玻璃基板进行导向，防止玻璃基板在传送过程中发生偏移造成碎片。TFT设备的导向轮GuideRoller作为引导基板传送的主要部件，在基板传送精度以及保障基板传送稳定性方面起到相当重要的作用。导向轮安装后的水平调整确认一直是所关注的重点问题，保证安装后的导向轮水平可以减少设备破片率，同时提高设备对基板传送的稳定性。[0003]现有技术中安装后的导向轮水平度的确认是通过观察放在导向轮上的水平仪来判断，通过旋转导向轮确认水平仪内气泡是否位于水平仪中间来确认导向轮是否水平。这种靠肉眼观察的水平确认在一定程度上存在很大误差，不能保证导向轮的水平精度。尤其是TFT设备中TFTWET设备(TFT湿刻设备)具有特殊的5°倾斜机构，这种情况下误差会变得更大，所得结果不够准确，另外现场确认导向轮GuideRoller是否水平耗时较长且精度因人而异。发明内容[0004]发明目的：针对现有技术存在的问题，本发明提供一种用于导向轮水平校准的装置，该装置可以快速准确地确认安装后的导向轮的水平精度。[0005]技术方案：为了实现上述目的，如本发明所述的一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置，包括水平卡套，水平卡套一端设置成凹槽，另一端延伸出一块连接板通过固定连接件与基座相连接，所述水平卡套一端的凹槽左右两边的内径与导向轮的直径相同，导向轮刚好卡入凹槽内。[0006]所述基座与导向轮两边的传送轴水平接触。确保基座在导向轮两边的传送轴上顺利滑动。[0007]所述凹槽内壁上设置有刻度尺。刻度尺用来测量和辅助水平定位。[0008]所述固定连接件为螺丝。[0009]当导向轮刚好卡入水平卡套的凹槽内无任何偏差，俯视导向轮确认与凹槽内侧完全接触，且基座在传动轴无倾斜，确认导向轮已经水平。[0010]工作原理：将导向轮水平校准的装置在导向轮两边的两根传送轴上推进，导向轮刚好卡入装置的凹槽水平卡套的凹槽内，无任何偏差俯视导向轮确认与凹槽内侧完全接触，且基座在传送轴上无倾斜，确认导向轮已经水平；若导向轮不能卡入装置内或俯视导向轮与凹槽内侧不完全接