用于深孔电镀的电镀制具及电镀方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106591932A(43)申请公布日2017.04.26(21)申请号201611263293.8(22)申请日2016.12.30(71)申请人宁波工程学院地址315000浙江省宁波市海曙区翠柏路89号(72)发明人吴泓均王怿宁(51)Int.Cl.C25D21/10(2006.01)C25D5/08(2006.01)C25D7/12(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称用于深孔电镀的电镀制具及电镀方法(57)摘要本发明涉及电镀工具技术领域，具体讲的是一种用于深孔电镀的电镀制具，用于深孔电镀的电镀制具，包括第一支架(1)和第二支架(2)，第一转轮(4)、第二转第一转轮(4)上设有第一销轴(7)，第二转轮(5)上设有第二销轴(8)，第一销轴(7)与第二销轴(8)之间设有连接杆(6)，连接杆(6)上固定连接有挂具(9)。采用这种结构后，提供一种使电镀溶液容易进入硅片样品上的深孔底部，从而可以获得深宽比较大的金属立柱的用于深孔电镀的电镀制具。CN106591932ACN106591932A权利要求书1/2页1.用于深孔电镀的电镀制具，其特征在于，包括分别固定在电镀溶液槽(3)的两侧第一支架(1)和第二支架(2)，第一支架(1)上转动连接有第一转轮(4)以及用以驱动第一转轮(4)转动的第一驱动装置，第二支架(2)上转动连接有第二转轮(5)以及用以驱动第二转轮(5)转动的第二驱动装置，第一转轮(4)上设有第一销轴(7)，第一销轴(7)偏离第一转轮(4)的中心设置，第二转轮(5)上设有第二销轴(8)，第二销轴(8)偏离第二转轮(8)的中心设置，第一销轴(7)与第二销轴(8)之间设有连接杆(6)，连接杆(6)的两端分别与第一销轴(7)和第二销轴(8)连接，连接杆(6)上固定连接有挂具(9)，挂具(9)的底端设有用以固定样品(10)的样品固定板(11)，样品固定板(11)位于电镀溶液槽(3)内并被电镀溶液漫过，所述第一转轮(4)与第二转轮(5)的转动轴线为同一轴线，并且第一转轮(4)与第二转轮(5)的转动轴线为水平方向并平行于样品(10)表面；所述用于深孔电镀的电镀制具还包括液泵(12)、水用电磁阀(13)和喷液组件(14)，所述液泵(12)的进口通过管道与电镀溶液槽(3)的内侧连通，液泵(12)的出口通过管道与喷液组件(14)连通，水用电磁阀(13)设在液泵(12)与喷液组件(14)之间，喷液组件(14)固定在电镀溶液槽(3)内并被电镀溶液漫过且位于样品(10)前方，喷液组件(14)上设有多个喷液孔(15)，多个所述喷液孔(15)朝向样品(10)表面，电镀溶液被吸入液泵(12)并从喷液孔(15)喷出喷向样品(10)表面。2.按照权利要求1所述的用于深孔电镀的电镀制具，其特征在于，多个所述喷液孔(15)的直径大小满足：沿着喷液组件(14)中液体流动方向，多个所述喷液孔(15)的直径依次变大。3.按照权利要求2所述的用于深孔电镀的电镀制具，其特征在于，所述喷液组件(14)包括多根喷管(16)，多根所述喷管(16)平行设置，多根所述喷管(16)的在样品(10)表面上的投影面积大于样品(10)的表面积，所述喷液孔(15)均匀分布在多根所述喷管(16)的侧壁上。4.按照权利要求1所述的用于深孔电镀的电镀制具，其特征在于，所述第一转轮(4)上设有第一穿槽(17)，所述第一穿槽(17)沿第一转轮(4)的径向延伸，第一销轴(7)插接在第一穿槽(17)上，第一销轴(7)的另一端通过第一螺母(21)将第一销轴(7)拧紧在第一转轮(4)上；所述第二转轮(5)上设有第二穿槽(18)，所述第二穿槽(18)沿第二转轮(5)的径向延伸，第二销轴(8)插接在第二穿槽(18)上，第二销轴(8)的另一端通过第二螺母(22)将第二销轴(8)拧紧在第二转轮(5)上，所述连接杆(6)为可伸缩结构，所述连接杆(6)两端通过万向节(19)分别与第一销轴(7)和第二销轴(8)连接。5.按照权利要求4所述的用于深孔电镀的电镀制具，其特征在于，所述连接杆(6)为可伸缩结构是指，所述连接杆(6)包括第一杆体(24)和第二杆体(25)，第一杆体(24)的端部设有容纳第二杆体(25)的轴向孔(23)，第二杆体(25)插接在轴向孔(23)内，轴向孔(23)的底端固定有拉簧(26)，拉簧(26)与第二杆体(25)的端部连接。6.按照权利要求1所述的用于深孔电镀的电镀制具，其特征在于，所述用于深孔电镀的电镀制具还包括罩体(20)，罩体(20)两侧分别固定在第一支架(1)和第二支架(2)上，罩体(20)内设有驱使第一转轮(4)和第二转轮(5)同步转动的同步机构，所述同步机构包括转轴(29)，固定在