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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106835059A(43)申请公布日2017.06.13(21)申请号201710108700.6(22)申请日2017.02.27(71)申请人江阴市中兴光电实业有限公司地址214000江苏省无锡市江阴市镇澄路1号(72)发明人刘忠兴(74)专利代理机构无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)32260代理人张欢勇(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构(57)摘要本发明公开了一种带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构,涉及镀膜机技术领域,镀膜机膜片公转结构,包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘,定轴的上端部固定在罩体的顶部,转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮,所述驱动齿轮由外部电机带动转动,驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动,进一步带动转筒转动,所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承,所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承,转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板,旋转板设置多个角度可调的膜片行星盘机构。双轴承设置有利与转筒的稳定转动,减少轴承的卡死,可实现膜片自转和角度可调。CN106835059ACN106835059A权利要求书1/1页1.一种带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构,包括转筒传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘,所述传动机构主要包括一个驱动齿轮,所述罩体固定在底盘上,其特征在于:所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔,所述定轴的上端部固定在罩体的顶部,所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮,所述驱动齿轮由外部电机带动转动,驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动,进一步带动转筒转动,所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承,所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承,转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板,旋转板设置多个膜片行星盘机构,所述行星盘机构包括自转轴以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件,支撑部件安装在旋转板上,所述自转轴上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮,从动齿轮可与传动齿轮啮合带动自转轴的自转,自转轴的下端设置锥形主动齿轮,旋转板下端与支撑部件对应位置固定设置一个连接上座,连接上座上固定设置一个与自转轴垂直的横轴,横轴上同轴心设置有与锥形主动齿轮啮合的锥形传动齿轮,连接上座连接一个连接下座,连接下座可绕横轴相对连接上座转动,连接下座上设置与横轴垂直的从动轴以及支撑从动轴的支撑部件,从动轴的上端设置与锤形传动齿轮相配合的锤形从动齿轮,锤形从动齿轮带动从动轴的转动,从动轴的下端用于安装工件架装载基片。2.根据权利要求1所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构,其特征在于:所述推力球轴承包括座圈、轴圈和钢球保持架组成,轴圈与减速齿轮或者转筒固定,座圈固定在环形底盘上。3.根据权利要求1或者2所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构,其特征在于:所述罩体靠近环形底盘的端部与推力球轴承对应位置设置环形空腔用于注入冷却水,罩体在环形空腔处设置注水孔和出水孔用于水循环。4.根据权利要求1或者2所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构,其特征在于:所述球轴承设置在罩体顶部,罩体顶部设置冷却水循环网路用于给球轴承降温。5.根据权利要求1所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构,其特征在于:还包括一个磁流体密封装置,磁流体密封装置一端连接驱动电机,另一端伸入镀膜机真空腔连接驱动齿轮。6.根据权利要求1所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构,其特征在于:所述定轴为中部结构,设置贯穿定轴的用于测量基片镀膜厚度的晶控探头。7.根据权利要求2所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构,其特征在于:所述球轴承和推力球轴承上涂抹有耐高温的润滑脂。8.根据权利要求1所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构,其特征在于:所述上连接座上设置弧形槽,连接下座设置处于同一条弧线上且与弧形槽相配的螺孔,弧形槽的圆心位置横轴上,弧形槽中设置锁紧螺钉将上连接座和下连接座固定。2CN106835059A说明书1/3页带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构技术领域[0001]本发明涉及镀膜机技术领域,具体涉及一种带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构。背景技术[0002]真空镀膜机主要由以下几部分组成:真空腔体,抽气系统,充气布气系统,加热系统,薄膜沉积控制系统,高压控制系统,低压控制系统,蒸发源系统,工件旋转系统。其功能描述如下:[0003]真空腔体:镀膜加工的一个空间[0004]抽气系统:使镀膜达