PDMS微流控芯片及基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107262173A(43)申请公布日2017.10.20(21)申请号201710656432.1(22)申请日2017.08.03(71)申请人广东顺德工业设计研究院（广东顺德创新设计研究院）地址528300广东省佛山市顺德区北滘镇广东工业设计城设计广场二期B2区三层(72)发明人陈跃东(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人林青中(51)Int.Cl.B01L3/00(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图4页(54)发明名称PDMS微流控芯片及基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法(57)摘要本发明涉及一种PDMS微流控芯片及基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法。该基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法包括以下步骤：制备阴模基片，所述阴模基片的表面具有第一微通道；将含有硅氯键的硅烷试剂修饰于PDMS板的表面；将所述PDMS板衍生化处理的表面与所述阴模基片具有第一微通道的表面相贴合；将刻蚀试剂加入到所述第一微通道中，用于对所述PDMS板衍生化处理的表面进行湿法刻蚀，以形成具有第二微通道的PDMS板，所述第二微通道的外轮廓形状与所述第一微通道的外轮廓形状相同；将所述具有第二微通道的PDMS板从所述阴模基片的表面剥离，即得PDMS微流控芯片。该制备方法操作简便且能够制备具有较小深度尺寸微通道的PDMS微流控芯片。CN107262173ACN107262173A权利要求书1/1页1.一种基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法，其特征在于，包括以下步骤：制备阴模基片，所述阴模基片的表面具有第一微通道；将含有硅氯键的硅烷试剂修饰于PDMS板的表面，用于衍生化处理所述PDMS板的表面；将所述PDMS板衍生化处理的表面与所述阴模基片具有第一微通道的表面相贴合，且所述PDMS板位于所述阴模基片的下方；将刻蚀试剂加入到所述第一微通道中，用于对所述PDMS板衍生化处理的表面进行湿法刻蚀，以形成具有第二微通道的PDMS板，其中，所述第二微通道的外轮廓形状与所述第一微通道的外轮廓形状相同；将所述具有第二微通道的PDMS板从所述阴模基片的表面剥离，所述具有第二微通道的PDMS板经后处理，即得PDMS微流控芯片。2.根据权利要求1所述的基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法，其特征在于，所述制备阴模基片的具体步骤包括：先在第一基片上制备金属膜层，再在金属膜层涂敷光刻胶，制得含胶基片；采用光刻法将掩膜版上的微通道图形转移至所述含胶基片，并对所述含胶基片刻蚀处理，以形成所述第一微通道，所述含胶基片再经打孔处理形成进液孔，所述进液孔与所述第一微通道相连通，即得所述阴模基片。3.根据权利要求2所述的基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法，其特征在于，所述第一基片为玻璃片、硅片或石英片。4.根据权利要求2所述的基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法，其特征在于，所述金属膜层为铬膜层、金膜层、铜膜层或铝膜层。5.根据权利要求1所述的基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法，其特征在于，所述含有硅氯键的硅烷试剂为三甲基氯硅烷、甲基二氯硅烷和甲基二苯基氯硅烷中的一种或多种。6.根据权利要求1-5任一项所述的基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法，其特征在于，所述刻蚀试剂为水、磷酸盐缓冲液、磷酸缓冲液、二甲基亚砜、乙醇和牛血清白蛋白溶液的一种或多种。7.根据权利要求1-5任一项所述的基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法，其特征在于，还包括将所述PDMS微流控芯片与第二基片键合的步骤。8.根据权利要求7所述的基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法，其特征在于，所述第二基片为金属片、陶瓷片、石英片、PDMS片、聚甲基丙烯酸甲酯片、聚苯乙烯片或环烯烃共聚物片。9.根据权利要求1-5任一项所述的PDMS微流控芯片，其特征在于，所述第二微通道的深度为0.8μm-10μm。10.一种PDMS微流控芯片，其特征在于，由如权利要求1-9任一项所述基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法制备而成。2CN107262173A说明书1/7页PDMS微流控芯片及基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法技术领域[0001]本发明涉及微流控芯片技术领域，特别是涉及一种PDMS微流控芯片及基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法。背景技术[0002]微流控技术能够将生物、化学、医学分析中的所涉及到的样品制备、反应、分离、检测等过程最大限度地集成到一个几平方厘米的芯片衬底上，其具有样品用量少、集成度高、易于微型化和自动化等突出特点，具有广阔的应用前景。[0003]聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为一种具有良好的光学透明性、生物相容性和化学惰性的弹性高分子聚合物材料，是