一种扩散硅片周转盒.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107546159A(43)申请公布日2018.01.05(21)申请号201610467681.1(22)申请日2016.06.24(71)申请人周银峰地址610000四川省成都市成华区双林北横路129号10栋10号(72)发明人周银峰(74)专利代理机构成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙)51239代理人刘华平(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种扩散硅片周转盒(57)摘要本发明公开了一种扩散硅片周转盒，包括由四个侧面组成的盒体，还包括托盘和放置架，所述盒体设置在托盘上，托盘底部设置有滚轮，盒体外壁上设置有吊环，所述放置架设置在盒体内，放置架上设置有防护层，放置架上设置有通孔。本发明设置托盘，方便清理与维护，同时可以方便扩散硅片碎片的清理，以及在扩散硅片蚀刻过程中，酸洗、碱洗液的排放；托盘上设置石英层，避免酸碱容易对托盘腐蚀，延长其使用寿命；设置吊环，便于搬运，设置滚轮，便于移动。CN107546159ACN107546159A权利要求书1/1页1.一种扩散硅片周转盒，包括由四个侧面组成的盒体，其特征在于：还包括托盘和放置架，所述盒体设置在托盘上，托盘底部设置有滚轮，盒体外壁上设置有吊环，所述放置架设置在盒体内，放置架上设置有防护层，放置架上设置有通孔。2.根据权利要求1所述的扩散硅片周转盒，其特征在于：所述放置架设置在盒体内中下部。3.根据权利要求1所述的扩散硅片周转盒，其特征在于：所述托盘的上表面设置有石英层。2CN107546159A说明书1/2页一种扩散硅片周转盒技术领域[0001]本发明涉及一种周转盒，特别涉及一种扩散硅片周转盒。背景技术[0002]太阳能电池片的扩散工序中包括净化工序，净化工序对环境洁净度有着严格的要求。现有技术中，太阳能电池片扩散工序中，等待进行扩散工序的硅片一般放置于一种扩散周转箱中，而扩散周转箱一般直接放置于车间的地面；传统的扩散硅片周转盒采用尼龙或者PVC材料粘合而成，而且均为全封闭的结构，重量大，不利于灰尘、扩散硅片的碎片以及酸洗或碱洗溶液的排除，另外此种结构的周转盒破损后很难再修复，材料浪费较大，使用成本也比较高。发明内容[0003]本发明的目的就在于提供一种结构简单，成本较低，便于清理灰尘和碎片以及排除酸碱溶液的扩散硅片周转盒。[0004]为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是这样的：本发明的扩散硅片周转盒，包括由四个侧面组成的盒体，还包括托盘和放置架，所述盒体设置在托盘上，托盘底部设置有滚轮，盒体外壁上设置有吊环，所述放置架设置在盒体内，放置架上设置有防护层，放置架上设置有通孔。[0005]作为优选，所述放置架设置在盒体内中下部。[0006]作为优选，所述托盘的上表面设置有石英层。[0007]与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明设置托盘，方便清理与维护，同时可以方便扩散硅片碎片的清理，以及在扩散硅片蚀刻过程中，酸洗、碱洗液的排放；托盘上设置石英层，避免酸碱容易对托盘腐蚀，延长其使用寿命；设置吊环，便于搬运，设置滚轮，便于移动。附图说明[0008]图1为本发明的结构示意图。具体实施方式[0009]下面将结合附图对本发明作进一步说明。[0010]参见图1，本发明的扩散硅片周转盒，包括由四个侧面组成的盒体1，还包括托盘2和放置架3，所述盒体1设置在托盘2上，托盘2底部设置有滚轮6，盒体1外壁上设置有吊环7，所述放置架3设置在盒体1内，放置架3上设置有防护层4，放置架3上设置有通孔5，所述放置架3设置在盒体1内中下部，所述托盘2的上表面设置有石英层。[0011]本发明设置托盘2，方便清理与维护，同时可以方便扩散硅片碎片的清理，以及在扩散硅片蚀刻过程中，酸洗、碱洗液的排放；托盘2上设置石英层，避免酸碱容易对托盘腐3CN107546159A说明书2/2页蚀，延长其使用寿命；设置吊环7，便于搬运，设置滚轮6，便于移动。4CN107546159A说明书附图1/1页图15