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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107825282A(43)申请公布日2018.03.23(21)申请号201711077662.9(22)申请日2017.11.06(71)申请人浙江工业大学地址310014浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学(72)发明人文东辉邹一岚陈珍珍杨杰洪滔(74)专利代理机构杭州斯可睿专利事务所有限公司33241代理人王利强(51)Int.Cl.B24B37/005(2012.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种可以实现无级变速的研磨抛光装置(57)摘要一种可以实现无级变速的研磨抛光装置,包括上研磨装置和下研磨装置,所述上研磨装置由龙门架、二维线性丝杠滑台和无级变速装置,所述下研磨装置包括安装座和研磨盘,所述无级变速装置包括输入电机、无级变速机构和工件盘,所述上研磨装置通过龙门架安装在下研磨装置上,所述工件盘位于研磨盘的上方且相互平行;所述无级变速装置通过滑台安装座安装在二维线性丝杠滑台上;无级变速机构包括机架、摩擦传动轮组件、长滑键轴和丝杠滑块调节器,其中一端的圆锥滚轮的转轴与输入电机的输入轴连接,其中一端的长滑键轴与工件盘连接。本发明结构简化、成本低廉,简单实现无级变速,对研磨抛光中不同速度下的工件表面质量的研究有一定的意义。CN107825282ACN107825282A权利要求书1/1页1.一种可以实现无级变速的研磨抛光装置,其特征在于:包括上研磨装置和下研磨装置,所述上研磨装置由龙门架、二维线性丝杠滑台和无级变速装置,所述下研磨装置包括安装座和研磨盘,所述无级变速装置包括输入电机、无级变速机构和工件盘,所述上研磨装置通过龙门架安装在下研磨装置上,所述工件盘位于研磨盘的上方且相互平行;所述无级变速装置通过滑台安装座安装在二维线性丝杠滑台上;所述无级变速机构包括机架、摩擦传动轮组件、长滑键轴和丝杠滑块调节器,所述机架包括下安装底座、左固定板和右固定板,所述左固定板位于所述下安装底座的左侧,所述右固定板位于所述下安装底座的右侧;所述摩擦传动轮组件包括圆锥滚轮和圆柱滚轮,所述圆锥滚轮与所述圆柱滚轮压紧摩擦配合,所述圆锥滚轮的两端分别通过轴承安装在所述左固定板和右固定板上,其中一端的圆锥滚轮的转轴与所述输入电机的输出轴连接;所述圆柱滚轮通过键连接在长滑键轴的长滑键上,所述长滑键轴的两端分别通过轴承安装在所述左固定板和右固定板上,其中一端的长滑键轴与所述工件盘连接;所述丝杠滑块调节器包括丝杠和导块,所述丝杠的两端分别通过轴承安装在所述左固定板和右固定板上,所述导块的上部与所述丝杠螺纹连接,所述导块的下部套装在长滑键轴上,且圆柱滚轮与所述导块的下部联动;所述长滑键轴的轴线、丝杠的轴线与圆锥滚轮的母线均平行。2.如权利要求1所述的一种可以实现无级变速的研磨抛光装置,其特征在于:所述二维线性丝杠滑台包括y向线性丝杠滑台和z向线性丝杠滑台,所述无级变速装置与所述z向线性丝杠滑台的滑台安装座连接,所述z向线性丝杠滑台安装在y向线性丝杠滑台的滑台安装座上。3.如权利要求1或2所述的一种可以实现无级变速的研磨抛光装置,其特征在于:其中一端的长滑键轴通过弹性联轴器与所述工件盘连接。4.如权利要求1所述的一种可以实现无级变速的研磨抛光装置,其特征在于:所述丝杠左端有内六角螺孔,用于对丝杠手动调节的六角扳手与所述六角螺孔配合。5.如权利要求1或2所述的一种可以实现无级变速的研磨抛光装置,其特征在于:所述圆柱滚轮包括钢轮和橡胶,所述钢轮的外圈套橡胶;所述圆锥滚轮为铸铁滚轮。6.如权利要求1或2所述的一种可以实现无级变速的研磨抛光装置,其特征在于:与长滑键轴配合的配对轴承为角接触轴承。7.如权利要求1或2所述的一种可以实现无级变速的研磨抛光装置,其特征在于:所述圆锥滚轮的圆锥角度在15°~45°。8.如权利要求1或2所述的一种可以实现无级变速的研磨抛光装置,其特征在于:所述左固定板上的轴承安装采用端盖压紧,所述右固定板上的轴承安装与轴承座过盈配合。2CN107825282A说明书1/3页一种可以实现无级变速的研磨抛光装置技术领域[0001]本发明属于超精密研磨抛光加工技术领域,涉及一种可以实现无级变速的研磨抛光装置。背景技术[0002]当前的超精密加工技术,以不改变工件材料物理特性为前提,以获得极限的形状精度、尺寸精度、表面粗糙度、表面完整性为目标,在电子、通信、计算机、激光、航空航天等领域有广泛应用。其中,超光滑抛光加工技术作为是一门重要的超精密加工技术,是获取光学元件、蓝宝石衬底、单晶硅衬底等高精度表面的重要手段之一。平面研磨是超光滑抛光加工技术的前期工序,其加工精度对最终产品的质量有至关重要的影响,抛光将进一步使工件表面粗糙度降低,提高工件的表面