真空涂覆工艺中的盖板玻璃基材的静电夹持.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108474111A(43)申请公布日2018.08.31(21)申请号201680077260.6(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公(22)申请日2016.12.28司31100代理人项丹(30)优先权数据62/272,3722015.12.29US(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L21/683(2006.01)2018.06.29C23C14/54(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2016/0688532016.12.28(87)PCT国际申请的公布数据WO2017/117207EN2017.07.06(71)申请人康宁股份有限公司地址美国纽约州(72)发明人D·R·鲍顿J·G·法根权利要求书2页说明书11页附图9页(54)发明名称真空涂覆工艺中的盖板玻璃基材的静电夹持(57)摘要用于在真空涂覆室中涂覆移动装置的2D或3D盖板玻璃的静电夹持设备和方法，所述真空涂覆室具有转鼓并且该转鼓被驱动旋转。所述设备包括载体，所述载体包括可拆卸式地安装于转鼓的液体冷却式冷板。在3D盖板玻璃的情况中，所述载体包括具有3D轮廓的部分，该3D轮廓与3D盖板玻璃的3D轮廓匹配。所述载体还包括静电卡盘(ESC)，由于ESC形成了足够的夹紧力以将盖板玻璃可靠地固定在适当位置，因此该静电卡盘适于在面对由转鼓旋转引起的离心力时，相对于载体而将盖板玻璃固定在位。CN108474111ACN108474111A权利要求书1/2页1.一种夹持设备，其用于在真空涂覆室中涂覆移动装置的3D盖板玻璃，所述真空涂覆室具有转鼓并且所述转鼓被驱动旋转，所述设备包括：载体，所述载体包括液体冷却式冷板并且其能够拆卸式地安装于转鼓；所述载体包括具有3D轮廓的部分，所述3D轮廓与3D盖板玻璃的3D轮廓匹配；以及所述载体还包括静电卡盘(ESC)，由于ESC形成了足够的夹紧力以将盖板玻璃可靠地固定在位，因此所述静电卡盘适于在面对由转鼓以超过100rpm旋转引起的离心力时，相对于载体的3D轮廓而将3D盖板玻璃固定在位。2.一种夹持设备，其用于在具有转鼓的涂覆室中涂覆盖板玻璃，所述设备包括：能够拆卸式地安装于转鼓的液体冷却式冷板；和静电卡盘(ESC)，其被固定于冷板并且适于在面对由转鼓旋转造成的离心力时将盖板玻璃固定在位。3.如权利要求1或权利要求2所述的夹持设备，其中，ESC形成了夹紧力，所述夹紧力是由转鼓旋转造成的离心力的数倍。4.如权利要求1或权利要求2所述的夹持设备，其中，ESC形成了夹紧力，所述夹紧力是由转鼓旋转造成的离心力的至少三倍。5.如权利要求2所述的夹持设备，其中，所述盖板玻璃是用于手持式装置的弯曲的盖板玻璃，并且其中，所述夹持设备还包括安装在ESC和冷板之间的弯曲的适配件以匹配弯曲的盖板玻璃的曲率。6.如权利要求1或权利要求2所述的夹持设备，其中，所述ESC包括印刷的聚酰亚胺。7.如权利要求1或权利要求2所述的夹持设备，其还包括外周衬垫，所述外周衬垫毗邻ESC定位以将盖板玻璃的边缘密封到ESC，从而防止背溅射到达盖板玻璃的背面。8.如权利要求1或权利要求2所述的夹持设备，其中，所述ESC用于将抗刮擦涂层施涂于盖板玻璃。9.如权利要求1或权利要求2所述的夹持设备，其中，在温度超过100摄氏度的真空室中使用所述ESC。10.如权利要求9所述的夹持设备，其中，液体冷却式冷板适于将ESC的温度保持在35摄氏度或更低。11.一种夹持设备，其用于在具有大型转鼓的涂覆室中涂覆移动装置的盖板玻璃，所述大型转鼓的直径超过三英尺并且其受到驱动而以超过100rpm旋转，所述设备包括：能够拆卸式地安装于大型转鼓的液体冷却式冷板；和静电卡盘(ESC)，其固定于所述冷板并且由于ESC形成了足够的夹紧力以将盖板玻璃可靠地固定在位，因此所述静电卡盘适于在面对由大型转鼓以超过100rpm旋转引起的离心力时，将盖板玻璃固定在位。12.一种用于在具有大型转鼓的涂覆室中涂覆移动装置的盖板玻璃的方法，所述大型转鼓在涂覆期间被驱动旋转，所述方法包括以下步骤：a.提供多个载体以将盖板玻璃临时安装到用于涂覆盖板玻璃的转鼓；b.对所述载体提供静电卡盘(ESC)；c.当载体在涂覆室外部并且未安装到转鼓时，将盖板玻璃安装到ESC；d.使ESC通电以将盖板玻璃临时固定于静电卡盘和载体；2CN108474111A权利要求书2/2页e.当ESC临时固定盖板玻璃时，将载体安装于转鼓；f.对ESC通电以将盖板玻璃牢固地固定于载体并因此固定于转鼓而不管转鼓旋转所造成的离心力有多大；g.在盖板玻璃牢固地固定于载体以及固定于转鼓时，使转鼓旋转并对盖板玻璃