一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108501232A(43)申请公布日2018.09.07(21)申请号201810545040.2(22)申请日2018.05.31(71)申请人扬州续笙新能源科技有限公司地址225800江苏省扬州市宝应县氾水镇工业集中区跃胜路(72)发明人张伟闫立(74)专利代理机构南京苏科专利代理有限责任公司32102代理人董旭东(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图2页(54)发明名称一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法(57)摘要本发明公开了多晶硅片切割领域内的一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法，该装置包括放线辊和收线辊，放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊上；该方法包括步骤：放线辊储线段向收线辊放线，收线轮向放线轮放线，收线轮继续向放线轮放出金刚线，同时晶托下降，晶棒朝着线网下压，直至晶棒被线网切割成若干片，放线轮向收线轮放线，收线轮向放线辊储线段放线，放线辊储线段再向收线辊储线段放线，放线辊储线段空跑线。本发明通过收线轮向放线轮输送金刚线，确保切割晶棒的第一刀均是采用新线，避免产生入刀TTV，入刀翘曲和线痕等问题。CN108501232ACN108501232A权利要求书1/2页1.一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，包括放线辊和收线辊，放线辊和收线辊的轴线互相平行，放线辊和收线辊之间平行设置有两个螺纹辊，螺纹辊外周设有螺纹槽，螺纹辊的轴线和放线辊的轴线垂直，所述放线辊的上方设有轴线互相平行的第一导向轮、第二导向轮和第三导向轮，第一导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述收线辊的上方设有轴线互相平行的第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，第四导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述放线辊上卷绕有金刚线，放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊上；金刚线沿着两侧的螺纹槽螺旋卷绕在两螺纹辊上，形成线网；所述螺纹辊上方设有可升降的晶托，晶托上固定有晶棒。2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，所述放线辊包括放线轮和储线段，放线辊放线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，放线辊储线段的轴向长度大于放线轮的轴向长度，收线辊包括收线轮和储线段，收线辊收线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，收线辊储线段的轴向长度大于收线轮的轴向长度，放线轮和收线轮相对设置。3.根据权利要求2所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，所述第一导向轮和第六导向轮的轮轴上均转动连接有排线摆臂，排线摆臂的端部设有排线轮，两排线摆臂分别与放线辊、收线辊相对应设置。4.根据权利要求2或3所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，所述第二导向轮和第三导向轮的轮轴位于同一水平面内，第四导向轮和第五导向轮的轮轴位于同一水平面内。5.根据权利要求2或3所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，所述第二导向轮和第三导向轮之间设有导向套，第四导向轮和第五导向轮之间设有导向套，金刚线对应穿过导向套的导向孔。6.根据权利要求3-5任一项所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）放线辊送线：放线辊和收线辊转动，放线辊储线段向收线辊放线，排线摆臂摆动，在排线轮的导向下，使得收线轮上卷绕k公里的金刚线；（2）收线轮送线：放线辊和收线辊反向转动，收线轮向放线轮放线，排线摆臂摆动，在排线轮的导向下，使得放线轮上卷绕m公里的金刚线；（3）进线切割：收线轮继续向放线轮放出n公里的金刚线，同时晶托下降，使得晶棒朝着线网下压，直至晶棒被线网切割成若干片；（4）放线轮和收线轮回线：晶托上升，带动晶棒与线网分开，放线辊和收线辊转动，放线轮向收线轮放线，使得放线轮上(m+n)公里的金刚线全部回收卷绕到收线轮上；收线轮再向放线辊储线段放线，使得收线轮上k公里的金刚线全部回收卷绕到放线辊储线段上；放线辊储线段再向收线辊储线段放线，使得收线辊储线段卷绕上（k-m-n）公里的金刚线；（5）放线辊储线段空跑线：放线辊和收线辊转动，在排线摆臂的引导下，放线辊储线段向收线辊储线段放出h公里的金刚线。7.根据权利要求6所述的一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法，其特征在于，所述步骤（1）开始之前，进行如下准备步骤：先在放线辊储线段上卷绕45~80km的金刚线，2CN108501232A权利要求书2/2页再将金刚线的出线端依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导