装夹装置及靶材加工装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108526965A(43)申请公布日2018.09.14(21)申请号201810346522.5(22)申请日2018.04.17(71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司地址315000浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号(72)发明人姚力军潘杰王学泽泮旭阳(74)专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371代理人王晖(51)Int.Cl.B23Q3/12(2006.01)B23B31/12(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称装夹装置及靶材加工装置(57)摘要本发明提供一种装夹装置及靶材加工装置，涉及装夹设备技术领域，包括移动组件和夹持组件；所述夹持组件固定在所述移动组件上，所述移动组件用于带动所述夹持组件移动至选定的位置；所述夹持组件包括多个夹持轮，多个所述夹持轮能够配合夹持工件，且多个所述夹持轮分别能够伸入车床夹具中相邻的夹爪之间。利用装夹装置装夹工件，无需利用人工，能够降低人工劳动强度，提高效率和便捷性，并且移动组件能够带动工件移动至选定的位置，能够提高工件装夹位置的稳定性，降低工件装歪的概率，防止工件夹伤，从而能够提高工件夹装的便捷性和稳定性。CN108526965ACN108526965A权利要求书1/1页1.一种装夹装置，其特征在于，包括移动组件和夹持组件；所述夹持组件固定在所述移动组件上，所述移动组件用于带动所述夹持组件移动至选定的位置；所述夹持组件包括多个夹持轮，多个所述夹持轮能够配合夹持工件，且多个所述夹持轮分别能够伸入车床夹具中相邻的夹爪之间。2.根据权利要求1所述的装夹装置，其特征在于，所述夹持组件还包括安装盘和多个卡爪；每个所述卡爪分别与所述安装盘滑动连接，每个所述卡爪分别能够沿所述安装盘的径向滑动，每个所述卡爪远离所述安装盘的一端分别固定设有所述夹持轮，且多个所述卡爪沿所述安装盘的周向均匀间隔设置。3.根据权利要求2所述的装夹装置，其特征在于，所述卡爪与所述夹持轮可拆卸地连接。4.根据权利要求2所述的装夹装置，其特征在于，所述夹持组件还包括驱动件，所述驱动件用于驱动所述卡爪沿所述安装盘的径向滑动。5.根据权利要求2所述的装夹装置，其特征在于，所述夹持轮为三个，三个所述夹持轮沿所述安装盘的周向均匀间隔设置。6.根据权利要求1－5中任一项所述的装夹装置，其特征在于，所述夹持轮由尼龙制成。7.根据权利要求1－5中任一项所述的装夹装置，其特征在于，所述夹持轮的侧壁上具有凹槽。8.根据权利要求1－5中任一项所述的装夹装置，其特征在于，所述夹持组件与所述移动组件可拆卸地连接。9.一种靶材加工装置，其特征在于，包括车床以及权利要求1－8中任一项所述的装夹装置。10.根据权利要求9所述的靶材加工装置，其特征在于，所述车床包括夹具，所述夹具包括多个夹爪，多个所述夹爪沿所述夹具的周向均匀间隔设置，相邻的所述夹爪之间具有缝隙；所述缝隙与所述夹持轮的数量相同，且多个所述缝隙与多个所述夹持轮一一对应设置，每个所述夹持轮均能够伸入该夹持轮对应的缝隙中。2CN108526965A说明书1/5页装夹装置及靶材加工装置技术领域[0001]本发明涉及装夹设备技术领域，尤其是涉及一种装夹装置，以及一种具有该装夹装置的靶材加工装置。背景技术[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。[0003]在靶材加工过程中，需要将工件夹持在机床的夹具上，再对工件进行加工。现有技术中，利用人工将工件夹持在机床的夹具上，然而人工装夹的劳动强度较大，效率较低，便捷性差，并且人工夹装时需要肉眼判断工件是否夹持到位，极易造成工件装歪，最终导致工件夹伤，因此工件夹装的便捷性和稳定性较差。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种装夹装置及靶材加工装置，以解决现有技术中的工件夹装的便捷性和稳定性较差的技术问题。[0005]本发明提供的装夹装置，包括移动组件和夹持组件；[0006]所述夹持组件固定在所述移动组件上，所述移动组件用于带动所述夹持组件移动至选定的位置；[0007]所述夹持组件包括多个夹持轮，多个所述夹持轮能够配合夹持工件，且多个所述夹持轮分别能够伸入车床夹具中相邻的夹爪之间。[0008]进一步地，所述夹持组件还包括安装盘和多个卡爪；[0