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GaN外延层与纳米线的制备及表征的中期报告 本次研究的目的是制备GaN外延层和纳米线以及对其进行表征。研究分为两个部分,第一部分是GaN外延层的制备,第二部分是GaN纳米线的制备。 第一部分,GaN外延层的制备。采用MOCVD技术在蓝宝石衬底上生长GaN外延层。通过控制外延层表面形貌和质量,探究在不同条件下对GaN生长行为的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对GaN外延层进行了表征,结果表明GaN层质量良好,表面光滑,没有明显缺陷。 第二部分,GaN纳米线的制备。采用先进的溶胶-凝胶化学反应法制备GaN纳米线,并研究不同条件下GaN纳米线的生长行为。通过SEM、XRD和AFM对GaN纳米线进行了表征,结果表明纳米线直径在20-50nm之间,具有良好的晶体结构和高的结晶度。 总结下来,本次研究成功地制备了GaN外延层和纳米线,并对其进行了表征。这项研究为其他相关领域的研究提供了参考,为大幅优化GaN基材料的性能以及开发相关的纳米电子元件提供了支持。