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一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构.pdf
2023-08-31
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本发明公开了一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括本体和挡板组件，挡板组件包括马达、凸轮、挡板；本体上开设有容纳腔，马达固定安装在本体上，凸轮的底端固定安装在马达的转动轴的顶端上，凸轮的顶端固接一连接轴，连接轴的中心轴线与马达的转动轴的中心轴线平行，凸轮位于容纳腔内，挡板上开设有安装孔，挡板通过安装孔套设在连接轴上，安装孔的尺寸大于马达的转动轴的直径。本发明使用马达驱动凸轮转动，凸轮带动挡板移动，实现挡板的开合动作，将故障率从使用线圈控制挡板时的78％降至使用马达驱动挡板时的10％，提升了工作效率；通
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