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MEMS黏着接触特性研究的任务书
任务名称：MEMS黏着接触特性研究
任务描述：
在微电子机械系统(MEMS)的制造和使用过程中，黏着接触是一个非常重要的问题。黏着接触会导致设备失效或性能下降，严重情况下甚至会损坏器件。因此，研究MEMS的黏着接触特性对于提高MEMS器件的可靠性和性能具有重要意义。本任务旨在研究MEMS的黏着接触特性，探索MEMS黏着接触的行为及其机理，为MEMS器件的设计和制造提供参考和指导。
任务要求：
1.搜集国内外相关研究论文和资料，了解MEMS的黏着接触特性、测试方法和机理等方面的研究现状。
2.设计并制备MEMS样品，采用适合的测试方法对其进行黏着接触特性测试，获取相关的实验数据。
3.分析实验数据，探索MEMS黏着接触的行为及机理，建立相应的黏着接触模型。
4.结合黏着接触研究结果，对MEMS器件的黏着接触问题进行分析和评估，并提出改进方案。
5.撰写研究报告，撰写相关论文，并进行口头报告和学术交流。
任务成果：
1.MEMS黏着接触特性研究报告。
2.MEMS黏着接触行为及机理的分析和模型建立。
3.提出MEMS器件黏着接触问题的改进方案。
4.相关论文和口头报告。