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MEMS粗糙表面接触研究的任务书
一、研究背景
MEMS（微机电系统）是一种具有微米级别的结构尺寸和微纳米级别的功能元件的集成系统，具有广泛的应用领域，如传感器、驱动器、器件和微系统。MEMS可以制造出非常小的系统，可以在占用更少空间的情况下提供高精度的控制和检测。MEMS的粗糙表面接触问题是MEMS技术中的一个重要问题，它会影响到MEMS器件的可靠性和精度。因此，研究MEMS粗糙表面接触问题具有重要的理论意义和应用价值。
二、研究内容
1.收集MEMS粗糙表面接触相关文献并做深入了解
2.探索MEMS粗糙表面接触问题的机理和影响因素
3.研究MEMS粗糙表面接触问题的测试方法和测试设备
4.设计和制造MEMS粗糙表面接触实验模拟器
5.进行实验测试并分析实验结果
6.建立MEMS粗糙表面接触问题的理论模型
三、研究要求
1.熟悉MEMS技术的基本知识和相关理论
2.具备材料制备和测试的基本技能
3.具备MEMS器件制备和测试的实践经验
4.具备分析建模的能力和应用软件使用能力
5.具备团队协作精神和工作责任心
四、研究成果
1.研究报告
2.论文或专利申请
3.实验模拟器设计和制作
4.实验数据和分析报告
5.理论模型建立
五、研究周期
六个月