工件游星轮及工件游星轮的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108687656A(43)申请公布日2018.10.23(21)申请号201810250478.8(22)申请日2018.03.26(30)优先权数据2017-0688342017.03.30JP(71)申请人创技股份有限公司地址日本神奈川县(72)发明人杉山将贵(74)专利代理机构上海弼兴律师事务所31283代理人薛琦王雯吉(51)Int.Cl.B24B37/27(2012.01)权利要求书1页说明书10页附图7页(54)发明名称工件游星轮及工件游星轮的制造方法(57)摘要本发明提供一种即使游星轮基板薄的情况时，也能够防止树脂插入部的在径向上的脱离或在正反方向上穿过等脱落的工件游星轮。工件游星轮在沿着形成在金属制的游星轮基板(1)上的工件保持孔(2)的内周面上设置有树脂插入部(3)。而且，在成为工件保持孔的外缘部(13)的游星轮基板上，在圆周方向上交替地形成有分别朝向正反方向凹陷的正面侧凹部(4A)及背面侧凹部(4B)，并且设置有贯穿连续正面侧凹部及背面侧凹部的正反方向的通孔部(8)。进一步，沿着正面侧凹部、背面侧凹部及通孔部以及所述工件保持孔的内周面的部分，填充成为树脂插入部的合成树脂材料。本发明还提出所述工件游星轮的制造方法。CN108687656ACN108687656A权利要求书1/1页1.一种工件游星轮，其在沿着形成在金属制的游星轮基板上的工件保持孔的内周面上设置有树脂插入部，其特征在于：在成为所述工件保持孔的外缘部的所述游星轮基板上，在圆周方向上交替地形成有分别朝向正反方向凹陷的正面侧凹部及背面侧凹部，并且设置有贯穿连续所述正面侧凹部及背面侧凹部的所述正反方向的通孔部，并沿着所述正面侧凹部、背面侧凹部及通孔部以及所述工件保持孔的内周面的部分填充有成为树脂插入部的合成树脂材料。2.根据权利要求1所述的工件游星轮，其特征在于，在圆周方向上隔开间距设置所述正面侧凹部及所述背面侧凹部。3.根据权利要求2所述的工件游星轮，其特征在于，所述通孔部是设置在每个所述正面侧凹部和所述背面侧凹部之间。4.根据权利要求1所述的工件游星轮，其特征在于，在所述正面侧凹部及背面侧凹部的底面设置突起部或孔部，并在所述突起部的周围或所述孔部的内部填充所述树脂插入部的一部分。5.根据权利要求2所述的工件游星轮，其特征在于，在所述正面侧凹部及背面侧凹部的底面设置突起部或孔部，并在所述突起部的周围或所述孔部的内部填充所述树脂插入部的一部分。6.根据权利要求3所述的工件游星轮，其特征在于，在所述正面侧凹部及背面侧凹部的底面设置突起部或孔部，并在所述突起部的周围或所述孔部的内部填充所述树脂插入部的一部分。7.根据权利要求1至6任一项所述的工件游星轮，其特征在于，在所述正面侧凹部及背面侧凹部的所述工件保持孔的中心侧设置狭窄部。8.一种工件游星轮的制造方法，是根据权利要求1至7任一项所述的工件游星轮的方法进行制造，其特征在于，具备：掩膜工序，其使用预定的绘制图案对所述游星轮基板的正面及背面进行掩膜；附着工序，其使蚀刻液附着于形成掩膜的所述游星轮基板上；及设置工序，其对通过所述蚀刻液加工的所述游星轮基板设置所述树脂插入部。2CN108687656A说明书1/10页工件游星轮及工件游星轮的制造方法技术领域[0001]本发明涉及一种通过研磨装置研磨加工氧化物晶片、硅晶片、玻璃、蓝宝石、陶瓷、水晶等薄板状的工件时，用于保持工件的工件游星轮及工件游星轮的制造方法。背景技术[0002]已知在通过研磨装置研磨加工硅晶片等工件的双面或单面时，将工件保持在具有工件保持孔的工件游星轮上(参照专利文献1至4等)。[0003]由于作为工件游星轮的主体的游星轮基板是由SK钢或不锈钢等硬质的金属材料所形成，因此，在直接将工件保持在游星轮基板上钻有的工件保持孔时，研磨加工中工件接触到工件保持孔的内周面，工件可能会产生裂痕或欠缺等损伤。[0004]在此，如专利文献1至4所公开的那样，沿着工件保持孔的内周面安装合成树脂制的软质的插入部，进行防止研磨加工中的工件的损伤的处理。[0005]专利文献1记载有，由于在工件保持孔的内周面在圆周方向上隔开间距设置突出部，并通过注塑成型填充树脂部，使树脂部与金属板一体化。进一步，通过在突出部的上方部分及下方部分形成倒角部，成为能够防止树脂部在上下方向上穿过而脱落的结构。[0006]另外，专利文献2记载有，通过沿着游星轮基板的工件保持孔的内周面设置凹槽，并通过以合成树脂材料进入该凹槽的方式注塑成型，来设置软质的环状的插入部。[0007]另一方面，专利文献3记载有，通过将形成工件保持孔的游星轮主体的内壁面制成朝向径向的凹形状而缩短插入部的上面部及下面部的径向的长度，来减少插入部的磨