ZnO薄膜及ZnO基薄膜晶体管的研究的开题报告.docx

ZnO薄膜及ZnO基薄膜晶体管的研究的开题报告
一、研究背景和意义
锌氧（ZnO）具有良好的光电性能和光伏发电性能，因此广泛被应用于各种光电器件中。其中，ZnO薄膜及ZnO基薄膜晶体管因其在显示器件、太阳能电池、光电导、生物传感器等领域中的应用，备受研究者的关注。ZnO薄膜晶体管因其本身光学、电学性质具有潜在的高性能和低成本的电子元件制备和应用，在实际生产中具有重要价值。因此，对ZnO薄膜晶体管的研究将对未来光电器件的发展起到重要作用。
二、研究内容
本文将首先介绍ZnO薄膜及其制备方法，包括溅射、化学气相沉积、水热法等。其次，介绍ZnO薄膜结构及其光电性质的研究，并阐述ZnO薄膜的用途。然后，介绍ZnO薄膜晶体管的结构和制备方法，包括微电子加工技术和化学气相沉积等。最后，讨论ZnO薄膜晶体管的性质和应用，包括其优点、局限性和未来发展前景。
三、研究目的
通过对ZnO薄膜晶体管的研究，旨在提高其性能，并为其在生物传感、数据存储和电子计算等领域中的应用提供基础。同时，为ZnO薄膜晶体管的制备和性能研究提供理论和实验基础。
四、研究方法
本文将采用实验和理论相结合的方法来研究ZnO薄膜及其晶体管。首先进行薄膜的制备和结构性质表征，包括X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）等实验技术。然后，通过电学性能的测量和分析，研究薄膜的电学性质。在此基础上，研究ZnO薄膜晶体管载流子传输和电学性能，对器件的性能和应用进行评估。
五、研究进度安排
第一年：对ZnO薄膜的制备和性质进行初步研究，完成对其结构和电学性质的实验测试。
第二年：对ZnO薄膜晶体管的制备方法进行研究，结合现有技术，寻求优化制备工艺并提高其性能。
第三年：针对ZnO薄膜晶体管的载流子传输及电学性能进行系列的分析和评估，综合分析结构与性能的关系，为未来的应用提供理论和实验基础。
六、研究预期成果
1.完成ZnO薄膜及ZnO基薄膜晶体管的制备研究。
2.揭示ZnO薄膜晶体管结构与电学性质之间的关系，提高其性能，并为实际应用提供理论依据。
3.为ZnO薄膜晶体管在太阳能电池、LED显示器、生物传感等领域中的应用提供技术支撑。
4.发表学术论文若干，参加学术会议并做报告。