PSTT铁电薄膜的制备和性能研究的中期报告.docx
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PSTT铁电薄膜的制备和性能研究的中期报告中期报告:PSTT铁电薄膜的制备和性能研究一、研究目的和背景PSTT(Pb,Sr)(Ti,Ta)O3是一种新型的铁电材料,具有较高的铁电性能和良好的稳定性,在电子器件、储能器和传感器等领域有广泛的应用前景。本研究旨在探究PSTT薄膜的制备方法和性能表现,为其应用提供基础研究支持。二、研究内容1.PSTT薄膜的制备采用溶胶-凝胶法制备PSTT前驱体,通过旋涂、电子束蒸发、射线热处理等工艺制备PSTT薄膜。考察不同制备过程对薄膜物相结构、形貌和表面粗糙度的影响。2.P
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BTO基铁电薄膜的制备与介电性能研究的中期报告.docx
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PMNT铁电薄膜的制备及性能研究的综述报告.docx
PMNT铁电薄膜的制备及性能研究的综述报告PMNT(PbMg1/3Nb2/3O3-TiO3)铁电薄膜是一种用于微电子器件、传感器和存储器的重要材料。本文将综述PMNT铁电薄膜的制备方法以及其性能研究进展。1.PMNT铁电薄膜的制备方法PMNT铁电薄膜的制备方法主要有溶液法、物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉积法(CVD)、射频磁控溅射法(RFsputtering)等。1.1溶液法溶液法是制备铁电薄膜的一种常见方法,主要是将PMNT材料溶解于化学试剂中,通过控制加热、旋转、蒸发等条件获得均匀薄膜。此方法印