一种基板切割刀轮装置及基板切割方法.pdf
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一种基板切割刀轮装置及基板切割方法.pdf
本发明公开了一种基板切割刀轮装置,包括:安装架以及设置在安装架上的刀轮,还包括气浮平台,所述气浮平台包括刀轮安置槽以及设置在刀轮安置槽周围的气孔,所述刀轮设置在刀轮安置槽中,通过气浮平台形成的气流,在刀轮对基板进行切割时,可以让基板切割位置微微凸起,解决切割平台的平整度的问题,从而使得切割压力更小,降低刀轮的磨损,同时气浮平台的气流可以起到集尘的作用,防止切割碎屑飞溅造成的异物不良。
基板切割装置及基板切割方法.pdf
本发明实施例中的基板切割装置及基板切割方法,切割轮模块,其具备切割轮;轮移动模块,其通过移动所述切割轮模块使得所述切割轮施压于基板;第一板及第二板,所述第一板及第二板分别设置于所述切割轮模块的两侧用于支撑所述基板;移动装置,其使所述第二板相对所述第一板沿Y轴方向远离移动,以分离被所述第一板及所述第二板支撑的所述基板;负荷测量模块,其用于测量所述移动装置的负荷;及,控制单元,其根据被所述负荷测量模块测量的所述移动装置的负荷,来控制所述轮移动模块来调整所述切割轮施加于所述基板的加压力。
基板切割装置及基板切割方法.pdf
本发明公开一种基板切割装置及基板切割方法。根据本发明的一个实施例的基板切割装置可包括:划线装置,具有划线轮,该划线轮布置为与基板的一个表面对望;第一断裂装置,具有断裂辊,该断裂辊布置为与所述基板的另一个表面对望;第二断裂装置,具有气体喷射装置,该气体喷射装置布置为与所述基板的一个侧面对望。
基板切割装置及基板切割方法.pdf
本发明实施例中的基板切割装置及基板切割方法,其中,包括:切割轮模块,其具备切割轮;第一板及第二板,所述第一板及第二板分别设置于所述切割轮模块的两侧用于支撑基板;移动装置,将所述第二板相对所述第一板沿Y轴方向远离移动,以分离被所述第一板及所述第二板支撑的所述基板;以及板升降模块,使所述第二板上升或下降;在所述第二板通过所述移动装置相对于所述第一板移动时,所述板升降模块上升所述第二板。
基板切割装置及基板切割方法.pdf
本发明提供一种基板切割装置及基板切割方法。该基板切割装置包括:裂片单元、设于所述裂片单元一侧的刀轮以及激光探测发生器;该基板切割装置在切割待切割的基板时,所述激光探测发生器探测待切割的基板的切割线的位置是否有金属层,并在探测到金属层时产生激光切割该金属层,接着刀轮沿着切割线切割部分待切割的基板,使待切割的基板位于切割线的位置产生裂缝,接着裂片单元持续扩大该裂缝直至切割过的基板的待去除区域完全分离开,接着移除待去除区域,由于在刀轮切割待切割的基板之前,激光探测发生器已经将金属层切割开,保证裂片单元能够正常分