GaN基发光管材料的MOCVD生长研究的任务书.docx

GaN基发光管材料的MOCVD生长研究的任务书
任务名称：GaN基发光管材料的MOCVD生长研究
任务目的：
1.研究并掌握GaN基发光管材料的MOCVD生长方法，提高材料的纯度和晶格质量。
2.研究不同生长条件对GaN基发光管材料物理性质的影响，寻找最优生长条件。
3.研究并优化GaN基发光管材料的表面质量和热稳定性。
任务内容：
1.搜集相关文献，了解目前GaN基材料MOCVD生长的研究现状。
2.研究并掌握GaN基发光管材料的MOCVD生长方法，包括反应物的制备、气相输送、反应机理等。
3.优化生长条件，控制生长温度、气体流量、压强等参数，尝试不同的外延衬底材料和衬底表面预处理方法。
4.通过X射线衍射、扫描电子显微镜等测试手段，对生长薄膜的晶体结构、表面形貌和生长速率进行表征和分析。
5.利用光致发光、拉曼光谱等技术，研究并分析不同生长条件对GaN基发光管材料的光物理性质和光电性能的影响。
6.研究GaN基发光管材料的表面质量和热稳定性，采用化学腐蚀、热退火等处理方法进行表征和分析。
7.总结实验结果，撰写技术报告和研究论文。
任务时间：12个月
任务预算：300万元