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一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置.pdf
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一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置.pdf
本发明涉及多晶硅片制绒机烘干技术领域，公开了一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，包括安装板、升降板、加热箱、冲淋管和通口；所述升降板横向设置在安装板的下方，且升降板平行于安装板，升降板位于安装板的正下方位置，安装板的表面四角和中部前后侧均开设有安装孔，且安装孔为六个，所述升降板通过安装板两侧下方固定的电动推杆安装在安装板的下方。本发明通过在升降板下方设置可以吸收水分的吸水海绵，并在升降板上方固定可以加热空气的加热箱，对槽位烘干前可以先被吸水海绵吸收去无法排尽的水分，然后再通过热风对槽位和吸水海绵进行烘干，保证
2023-06-05
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2023-08-30
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本发明公开了一种能够保便于制绒温度控制，同时保证硅片在进行硅片清洗、制绒过程中硅片始终处于湿润状态的硅片清洗制绒装置。该硅片清洗制绒装置，包括硅片制绒槽、硅片转运装置以及硅片清洗装置；所述硅片转运装置设置在硅片制绒槽与硅片清洗装置之间；采用该硅片清洗制绒装置制绒温度控精度高，整个工艺槽内化学反应稳定，可控，能够实现有效控制溶液的反应速度和挥发量，便于工艺调整；同时硅片在转运过程中经过喷淋可以保证硅片在运转过程中始终保持湿润状态，从而有效避免出现“边缘花片”的情况，保证产品的质量。
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2023-10-19
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