低温地板辐射采暖系统的数值模拟与参数优化的中期报告.docx
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基于CFD的等离子体刻蚀数值模拟与参数优化的中期报告.docx
基于CFD的等离子体刻蚀数值模拟与参数优化的中期报告本中期报告旨在汇报基于CFD的等离子体刻蚀数值模拟与参数优化的进展情况,总结前期工作成果,并阐明后续研究计划。以下为具体内容:一、前期工作成果基于前期工作,我们已经完成了以下工作:1.搭建起等离子体刻蚀的CFD模型,以模拟等离子体与硅基材料的相互作用,并考虑了氧气、氩气溶液、甲醛等物质的反应。2.用CFD模拟了不同条件下的等离子体刻蚀过程,并通过比较实验数据和模拟结果的误差进行模型验证。3.利用模拟结果,对一些模拟重要的参数进行了优化,并且得到了一组新的