

一种卷对卷镀膜设备基材传送滚轮.pdf
骊蓉****23
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一种卷对卷镀膜设备基材传送滚轮.pdf
本发明公开了一种卷对卷镀膜设备基材传送滚轮,一种卷对卷镀膜设备基材传送滚轮;其特征在于,它包括:传送滚轮,磁力棒及带轴外盖;所述传送滚沦为中空设置,中空内部设置卡槽,所述磁力棒为小块磁铁拼接并贴附在平板上,平板放置在从动滚轮内部设置的卡槽,所述带轴外盖唯一圆柱中空外盖,固定在传送轮两端。本发明能够吸附卷对卷基材,使基材能平整贴附在从动滚轮上,不会产生重力下垂现象,保证镀膜面的平整,它可以广泛应用在卷对卷镀膜设备上,特别是处理金属基材。
一种用于镀膜设备的弹簧滚轮及镀膜设备.pdf
本发明涉及一种用于镀膜设备的弹簧滚轮及镀膜设备,其中用于镀膜设备的弹簧滚轮包括滚轴及套设在所述滚轴上的弹簧,所述弹簧包括当弹簧滚轮在硅片上滚动时与硅片的背电极接触的接触部和与所述硅片的背电极不接触的分离部,所述接触部的直径大于所述分离部的直径,所述接触部与所述分离部沿所述滚轴的轴线间隔设置。本发明的用于镀膜设备的弹簧滚轮克服现有的镀膜设备的弹簧滚轮的弹簧容易变形,且容易使硅片上的背电极镀铜从而影响后道组件的焊接的缺点,提供一种不易变形且不会导致硅片上的背电极镀铜的用于镀膜设备的弹簧滚轮及镀膜设备。
一种卷对卷镀膜设备和镀膜方法.pdf
本申请涉及一种卷对卷镀膜设备和镀膜方法,其中卷对卷镀膜设备包括多个主辊和多个靶材,其中多个主辊交替设置在待镀膜基材的正反两面,多个靶材以与多个主辊相反的方式交替设置在待镀膜基材的正反两面。相比于现有的卷对卷镀膜设备,本发明相当于将圆形腔室拉长,不仅极大提高了设备的兼容性,还因为将单主辊结构的集中拉力形式分解为多个小的拉力,大大降低了对基材的局部拉力,避免了超薄基材的形变;此外,由于靶材和主辊的交替设置,实现直接在同一个腔室中对基材的正反面同时镀膜,同时将单主辊的连续镀膜变成多主辊和多靶材的间隔镀膜,避免了
滚轮传送模组以及滚轮传送装置.pdf
本发明公开了一种滚轮传送模组,包括:驱动轴;第一传动机构,第一传动机构包括套设于驱动轴的第一锥齿轮、与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮、承载第二锥齿的承载轴承,藉由第二锥齿轮连接外部动力机构和第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合,使外部动力机构带动驱动轴转动;第一转轴,间隔设置于驱动轴的上方;第二转轴,间隔平行设置于第一转轴的一侧;第三转轴,间隔平行设置于第一转轴的另一侧;两个第一滚轮,第二滚轮,第三滚轮,两个第一滚轮、第二滚轮和第三滚轮的顶部位于同一平面内;第二传动机构,传动连接于驱动轴、第一转轴、第二转轴、第三转轴之
滚轮传送模组以及滚轮传送装置.pdf
本发明公开了滚轮传送模组和滚轮传送装置,其中,滚轮传送模组包括驱动轴、用于连接外部动力机构和驱动轴以带动驱动轴转动第一传动机构、间隔设置于驱动轴上方的第一转轴、间隔平行设置于第一转轴一侧的第二转轴、间隔平行设置于第一转轴另一侧的第三转轴、间隔安装于第一转轴上的两个第一滚轮、安装于第二转轴上第二滚轮、安装于第三转轴上第三滚轮以及传动连接于驱动轴、第一转轴、第二转轴、第三转轴之间,以用于带动第一转轴、第二转轴和第三转轴随驱动轴同步转动第二传动机构。本发明公开的滚轮传送模组具有可以实现两个第一滚轮、第二滚轮和第