一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109301037A(43)申请公布日2019.02.01(21)申请号201811290488.0(22)申请日2018.10.31(71)申请人中山市睿普自动化科技有限公司地址528437广东省中山市火炬开发区中山港大道70号张企科技企业孵化器7栋4楼407室B区(72)发明人何武岗代恒刘文仓(51)Int.Cl.H01L31/20(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置(57)摘要本发明公开了一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，包括支架和激光发生器，电机输出端连接转轴，转轴固定连接主动半齿轮，从动齿轮固定连接螺纹杆，螺纹杆另一端延伸至支架右侧内壁上，且通过轴承与支架转动连接，套管上端铰接连接第二连杆，第二连杆另一端铰接连接第二固定块，第二固定块固定安装在第二固定杆上，第一固定杆和第二固定杆分别与支架内壁滑动连接，直杆另一端固定连接连接块，连接块通过连接轴固定连接安装座，安装座上表面固定连接安装板，安装板上设置有激光发生器，激光发生器底面固定安装预留座，预留座上设置有与锲型块相适配的锲型卡槽。该发明具有能够对薄膜进行均匀全面进行辐射和激光发生器方便安装拆卸的优点。CN109301037ACN109301037A权利要求书1/1页1.一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，包括支架（1）和激光发生器（16），其特征在于，所述支架（1）左侧外壁上通过三角架固定安装电机（20），所述电机（20）输出端连接转轴，所述转轴固定连接主动半齿轮（19），所述主动半齿轮（19）啮合连接从动齿轮（18），所述从动齿轮（18）固定连接螺纹杆（2），所述螺纹杆（2）另一端延伸至支架（1）右侧内壁上，且通过轴承与支架（1）转动连接，所述螺纹杆（2）螺纹连接套管（3），所述套管（3）沿着螺纹杆（2）对称设置，所述套管（3）底端铰接连接第一连杆（4），所述第一连杆（4）另一端铰接连接第一固定块（6），所述第一固定块（6）固定安装在第一固定杆（8）上，所述套管（3）上端铰接连接第二连杆（5），所述第二连杆（5）另一端铰接连接第二固定块（7），所述第二固定块（7）固定安装在第二固定杆（9）上，所述第一连杆（4）、第二连杆（5）、第一固定块（6）和第二固定块（7）沿着支架（1）对称设置，所述第一固定杆（8）和第二固定杆（9）分别与支架（1）内壁滑动连接，所述第二固定杆（9）位于第一固定杆（8）上方。2.根据权利要求1所述的一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，其特征在于，所述第一固定杆（8）和第二固定杆（9）上分别对称设置有四个安装块（10），所述安装块（10）分别与第一固定杆（8）和第二固定杆（9）滑动连接，所述第一固定杆（8）和第二固定杆（9）分别固定安装双轴液压缸（17），所述双轴液压缸（17）输出端连接液压柱一，所述液压柱一固定连接安装块（10）。3.根据权利要求1所述的一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，其特征在于，所述安装块（10）固定连接直杆（11），所述直杆（11）另一端固定连接连接块（12），所述连接块（12）通过连接轴（13）固定连接安装座（14），所述安装座（14）上表面固定连接安装板（15），所述安装板（15）上设置有激光发生器（16）。4.根据权利要求3所述的一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，其特征在于，所述安装板（15）内设置有第一空腔（24），且上端设置有开口，所述第一空腔（24）内固定安装液压缸（21），所述液压缸（21）输出端连接液压柱（22），所述液压柱（22）顶端固定连接第一移动块（23），所述第一移动块（23）设置有卡槽，所述第一移动块（23）内设置有第二空腔（25）。5.根据权利要求4所述的一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，其特征在于，所述第二空腔（25）内设置有第二移动块（29），所述第二移动块（29）对称安装滑块（28），所述滑块（28）滑动连接滑杆（27），所述滑杆（27）对称固定安装在第二空腔（25）内，所述第二移动块（29）固定连接弹簧（26），所述弹簧（26）与第二空腔（25）内壁固定连接。6.根据权利要求5所述的一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，其特征在于，所述第二移动块（29）内设置有第三空腔（30），所述第三空腔（30）内固定安装电动伸缩杆（31），所述电动伸缩杆（31）另一端固定连接滑板（32），所述滑板（32）与第二移动块（29）滑动连接。7.根据权利要求6所述的一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，其特征在于，所述滑板（32）上固定安装锲型块（33），所述锲型块（33）贯穿第二移动块（29），且与第二移动块（29）滑动连接。8.根据权利要求1所述的一种用于制造非晶硅薄膜的激光