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一种非接触式基片架传动磁导向装置.pdf
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本发明公开了一种非接触式基片架传动磁导向装置，真空室磁导向装置安装在真空镀膜箱顶板上，装卸台磁导向装置设置在装卸台顶板上，真空室磁导向装置和装卸台磁导向装置的U型槽开口朝下设置，基片顶杆插装在U形槽内的磁导向单元之间，基片架顶杆上设置的磁铁与U形槽内的磁导向单元上磁铁磁极相对应，互为斥力，形成非接触式导向定位；基片架底部安装有圆形导杆，导杆安装在带有半圆凹槽的导轮上；导轮经真空室的磁流体或装卸台的轴承座与同步带轮同轴相连，由驱动部件通过同步带轮将动力传递给导轮，靠导轮与导杆间的磨擦力使基片架前行。本发明结
2023-08-29
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2023-08-31
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非接触式磁力传动离合装置.pdf
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2023-08-28
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