涡轮分子泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109404307A(43)申请公布日2019.03.01(21)申请号201810866747.3F04D29/10(2006.01)(22)申请日2018.08.01(30)优先权数据2017-1567982017.08.15JP(71)申请人株式会社岛津制作所地址日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地(72)发明人渡边耕太(74)专利代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019代理人寿宁张华辉(51)Int.Cl.F04D19/04(2006.01)F04D25/06(2006.01)F04D29/08(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图6页(54)发明名称涡轮分子泵(57)摘要本发明提供一种能防止气体从背压侧经由紧固泵转子的螺钉与泵转子的间隙向泵吸气口侧泄漏的涡轮分子泵。本发明的涡轮分子泵具备：主轴(4b)，由电机旋转驱动；泵转子(4a)；多个螺钉(50)，从泵吸气口侧贯穿泵转子(4a)，将泵转子(4a)紧固于主轴(4b)的泵吸气口侧端部；以及O环密封件(52)，将泵转子(4a)与主轴(4b)的紧固面的间隙密封。CN109404307ACN109404307A权利要求书1/1页1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：主轴，由电机旋转驱动；泵转子；多个螺钉，从泵吸气口侧贯穿所述泵转子，将所述泵转子紧固于所述主轴的泵吸气口侧端部；以及密封构件，将所述泵转子与所述主轴的紧固面的间隙或所述螺钉与所述泵转子的间隙密封。2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于：所述密封构件为O环密封件，所述O环密封件配置在由所述泵转子的螺钉孔的形成于泵吸气口侧缘的锥面、所述螺钉的外周面、及所述螺钉的螺钉头所形成的密封槽中，且所述O环密封件与所述锥面、所述外周面及所述螺钉头分别接触而将所述螺钉与所述泵转子的间隙密封。3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，还包括：转子平衡修正用构件，固定于所述泵转子的泵吸气口侧，所述螺钉从泵吸气口侧贯穿所述转子平衡修正用构件及所述泵转子，将所述转子平衡修正用构件及所述泵转子紧固于所述主轴的泵吸气口侧端部，所述密封构件为O环密封件，所述O环密封件是配置在由所述转子平衡修正用构件及所述泵转子中任意的其中一个的紧固面、形成于所述转子平衡修正用构件及所述泵转子其中另一个的紧固面的螺钉孔缘的锥面、及所述螺钉的外周面所形成的密封槽中，且所述O环密封件与所述其中一个的紧固面、所述锥面及所述外周面分别接触而将所述螺钉与所述泵转子的间隙密封。4.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于：所述密封构件为安装在所述泵转子的螺钉孔的内周或所述螺钉的螺钉轴外周的O环密封件。5.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于：所述密封构件是以将所述多个螺钉一起包围的方式配置，将所述泵转子与所述主轴的紧固面的间隙密封。6.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于：所述密封构件是对所述多个螺钉的每一个以包围该螺钉的方式设置，将所述泵转子与所述主轴的紧固面的间隙密封。7.根据权利要求5或6所述的涡轮分子泵，其特征在于:所述密封构件为板状的金属垫片。2CN109404307A说明书1/6页涡轮分子泵技术领域[0001]本发明涉及一种涡轮分子泵(turbomolecularpump)。背景技术[0002]涡轮分子泵中，利用电机将紧固有泵转子(pumprotor)的转子轴高速旋转而进行真空排气。若泵转子高速旋转，则较泵转子更靠上游的吸气口侧成为高真空。较泵转子更靠下游的背压侧是由后泵(backpump)排气，因此成为依赖于后泵的性能的低真空压力。[0003]此外，由于转子轴是设于背压侧，因此若泵转子与转子轴的紧固部的一部分在吸气口侧及背压侧露出，则气体会从背压侧经由所述紧固部的间隙向吸气口侧泄漏。若存在此种泄漏，则可能涡轮分子泵的压缩比降低而导致真空排气性能劣化。[0004]专利文献1所记载的涡轮分子泵中，转子轴与泵转子成为锥(tape)状嵌合。而且，为了防止从所述嵌合部分泄漏而采用以下构造：将覆盖转子轴端部的盖状构件安装在泵转子上，并利用垫片(gasket)将所述盖状构件与泵转子的间隙密封。[0005]另一方面，专利文献2所记载的涡轮分子泵中，使用多个螺钉将泵转子紧固于转子轴。而且，为了使组装性更容易而采用如下构成：使螺钉从高真空侧贯穿泵转子的紧固部，以能从吸气口侧拧紧螺钉。[0006][现有技术文献][0007][专利文献][0008][专利文献1]日本专利特开平5-311878号公报[0009][专利文献2]日本专利特开2008-038844号公报发明内容[0010][发明所要解决的问题][0011]但是，在设为专利文献2所记载那样的紧固