一种单晶硅棒装夹装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109465977A(43)申请公布日2019.03.15(21)申请号201811599847.0(22)申请日2018.12.26(71)申请人福州天瑞线锯科技有限公司地址350100福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号(72)发明人朱文志李波汤文博蓝碧峰范舒彬林孝狮黄田玉林光展(74)专利代理机构福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)35219代理人林祥翔张忠波(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/04(2006.01)B28D7/00(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图9页(54)发明名称一种单晶硅棒装夹装置(57)摘要本发明公开了一种单晶硅棒装夹装置，包括滚轮支撑机构、第一定位及取片机构、第一浮动支撑机构及夹持机构；滚轮支撑机构包括安装座及第一滚轮座，第一滚轮座可轴向移动地设置于安装座上；第一定位及取片机构包括真空吸盘，真空吸盘位于滚轮支撑机构上方；夹持机构包括夹爪机构及第一轴向移动驱动机构；夹爪机构用于夹持单晶硅棒；第一轴向移动驱动机构用于驱动夹爪机构轴向移动；第一浮动支撑机构包括支撑机构及第二轴向移动驱动机构，支撑机构设置于第一定位及取片机构和夹持机构之间；第二轴向移动驱动机构用于驱动支撑机构轴向移动。本发明具有可以保证加工过程中单晶硅棒的端面的平行度均一致的优点。CN109465977ACN109465977A权利要求书1/2页1.一种单晶硅棒装夹装置，其特征在于，包括滚轮支撑机构、第一定位及取片机构、第一浮动支撑机构及夹持机构；所述滚轮支撑机构包括安装座及第一滚轮座，所述第一滚轮座可轴向移动地设置于安装座上，第一滚轮座的各个滚轮之间开设有切割线让位槽；所述第一定位及取片机构包括真空吸盘，所述真空吸盘位于滚轮支撑机构上方，且位于夹持机构的一侧处，用于吸紧单晶硅棒的端面；所述夹持机构包括夹爪机构及第一轴向移动驱动机构；所述夹爪机构用于夹持单晶硅棒；所述第一轴向移动驱动机构与夹爪机构连接，用于驱动夹爪机构沿着滚轮支撑机构轴向移动；所述第一浮动支撑机构包括支撑机构及第二轴向移动驱动机构，所述支撑机构设置于第一定位及取片机构和夹持机构之间，用于支撑单晶硅棒的端部；所述第二轴向移动驱动机构与支撑机构连接，用于驱动支撑机构轴向移动。2.根据权利要求1所述的单晶硅棒装夹装置，其特征在于，还包括第二定位及取片机构及第二浮动支撑机构；所述第二定位及取片机构与第一定位及取片机构的结构一致，第二定位及取片机构的真空吸盘位于滚轮支撑机构上方，且位于夹持机构未设置有第一定位及取片机构的一侧处；第二浮动支撑机构与第一浮动支撑机构的结构一致，第二浮动支撑机构的支撑机构设置于第二定位及取片机构和夹持机构之间；第二浮动支撑机构的第二轴向移动驱动机构与第二浮动支撑机构的支撑机构连接；所述滚轮支撑机构还包括第二滚轮座；所述第二滚轮座与第一滚轮座同轴向固定设置于安装座上，且第二滚轮座的各个滚轮之间开设有切割线让位槽。3.根据权利要求1所述的单晶硅棒装夹装置，其特征在于，所述安装座轴向设置有第一直线滑轨；所述第一定位及取片机构还包括真空吸盘支架，所述真空吸盘与真空吸盘支架连接，所述第一浮动支撑机构还包括支撑机构支架，所述支撑机构与支撑机构支架连接，所述夹持机构还包括夹爪机构支架，所述夹爪机构与夹爪机构支架连接；所述真空吸盘支架、支撑机构支架及夹爪机构支架均设置有与第一直线滑轨相适配的滑槽，并均通过滑槽可轴向滑动地与安装座连接。4.根据权利要求3所述的单晶硅棒装夹装置，其特征在于，所述安装座轴向设置有齿条；所述第一轴向移动驱动机构及第二轴向移动驱动机构均为伺服电机，且伺服电机的输出轴固定套设有外齿轮；所述第一轴向移动驱动机构与夹爪机构支架连接，且第一轴向移动驱动机构的外齿轮与齿条啮合；所述第二轴向移动驱动机构与支撑机构支架连接，且第二轴向移动驱动机构的外齿轮与齿条啮合。5.根据权利要求3所述的单晶硅棒装夹装置，其特征在于，所述第一定位及取片机构还包括第三轴向移动驱动机构，所述第三轴向移动驱动机构与真空吸盘支架连接，用于驱动真空吸盘支架及真空吸盘轴向移动。2CN109465977A权利要求书2/2页6.根据权利要求5所述的单晶硅棒装夹装置，其特征在于，所述第一定位及取片机构还包括升降机构；所述升降机构与真空吸盘连接，且设置于真空吸盘支架处，用于调节真空吸盘的所处高度。7.根据权利要求3所述的单晶硅棒装夹装置，其特征在于，所述支撑机构包括两个支撑件，所述支撑件包括托板、自锁紧气缸、第一密封圈、第二密封圈、防护套及滑套；所述滑套套设在自锁紧气缸的输出轴处，所述防护套可滑动地套设在滑套处，防护套的外端面设置有端盖，所述端盖开设有圆形卡放槽，所述第