线网摆动系统和多线切割设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109624116A(43)申请公布日2019.04.16(21)申请号201910008343.5B28D7/04(2006.01)(22)申请日2019.01.04(71)申请人北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）地址100176北京市经济技术开发区泰河三街1号(72)发明人郝禄吴学宾(74)专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371代理人赵丽娜(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/00(2006.01)B28D7/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称线网摆动系统和多线切割设备(57)摘要本发明提供一种线网摆动系统和多线切割设备，属于多线切割技术领域，线网摆动系统包括切割座、设置在所述切割座上的摆动轮、设置在所述摆动轮上的线网装置，还包括摆动电机、减速机、主动同步带轮和从动同步带轮，摆动电机和减速机连接，减速机和主动同步带轮传动连接，主动同步带轮和从动同步带轮传动连接，从动同步带轮和摆动轮传动连接。本发明提供的线网摆动系统，能够实现线网与待加工坯料之间点接触式的切割，结构简单易维护、稳定、精度高，使得切割效率高。CN109624116ACN109624116A权利要求书1/1页1.一种线网摆动系统，其特征在于，包括：切割座、设置在所述切割座上的摆动轮、设置在所述摆动轮上的线网装置，还包括摆动电机、减速机、主动同步带轮和从动同步带轮，所述摆动电机和所述减速机连接，所述减速机和所述主动同步带轮传动连接，所述主动同步带轮和所述从动同步带轮由同步带传动连接，所述从动同步带轮和所述摆动轮连接。2.根据权利要求1所述的线网摆动系统，其特征在于，所述切割座上还设置交叉滚子轴承，所述交叉滚子轴承的外圈通过轴承盖固定在所述切割座上，所述交叉滚子轴承的内圈设置有所述摆动轮，所述从动同步带轮固定在所述交叉滚子轴承的内圈端面。3.根据权利要求1所述的线网摆动系统，其特征在于，所述线网装置包括主轴电机、与所述主轴电机传动连接的第一主动轴和第二主动轴，还包括第一罗拉、第二罗拉、第一从动轴和第二从动轴，所述第一罗拉的两端和所述第二罗拉的两端分别设置轴承，所述第一罗拉通过所述轴承分别与所述第一主动轴和所述第一从动轴连接，所述第二罗拉通过所述轴承分别与所述第二主动轴和所述第二从动轴连接，所述第一罗拉和所述第二罗拉之间用于设置线网。4.根据权利要求1所述的线网摆动系统，其特征在于，所述切割座上还设置支撑板，所述从动同步带轮的轴心内设置芯轴，所述芯轴外周套设有芯轴套，所述芯轴和所述芯轴套之间设置调心滚子轴承，所述芯轴套和所述支撑板固定连接。5.根据权利要求2所述的线网摆动系统，其特征在于，所述切割座上设置有切割座轴肩，所述切割座轴肩和所述轴承盖相对设置在所述交叉滚子轴承的两侧，用于固定所述交叉滚子轴承的外圈。6.根据权利要求2所述的线网摆动系统，其特征在于，所述摆动轮上设置有摆动轮轴肩，所述摆动轮轴肩和所述从动同步带轮相对设置在所述交叉滚子轴承的两侧，用于固定所述交叉滚子轴承的内圈。7.根据权利要求2所述的线网摆动系统，其特征在于，所述交叉滚子轴承外圈与所述切割座之间设置气道，用于通过气管向所述气道输送压缩空气。8.根据权利要求1所述的线网摆动系统，其特征在于，所述减速机设置在安装座上，所述安装座固定在所述切割座上，所述安装座上有长条孔，螺钉穿过所述长条孔和所述减速机连接。9.一种多线切割设备，其特征在于，包括收放线系统、张力控制系统、送料系统、冷却系统和切割液供给系统和权利要求1-8任一项所述的线网摆动系统，所述收放线系统包括线网、第一端和第二端，所述线网通过所述第一端和所述第二端进行收线和放线，在第一罗拉和第二罗拉之间绕有多圈形成的多根平行的线网，张力控制系统用于控制线网的张力，送料系统与切割座连接，待切割的坯料通过送料系统送入多线切割设备，切割液供给系统提供多线切割时的切割液，冷却系统用于整机冷却。10.根据权利要求9所述的多线切割设备，其特征在于，所述线网为金刚线网。2CN109624116A说明书1/5页线网摆动系统和多线切割设备技术领域[0001]本发明涉及多线切割技术领域，具体而言，涉及一种线网摆动系统和多线切割设备。背景技术[0002]目前，多线切割技术是世界上比较先进的晶锭加工技术，其原理是通过收放线系统使金刚线运动，高速运动的金刚线绕在罗拉上组成线网。线网对待切割的硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果。[0003]传统的多线切割在进行晶锭加工过程中，线网与工件的切口是线接触，对于有些超硬材料较难切割，会加剧线网的磨损，甚至断线导致切割失败。发明内容[000