一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109628904A(43)申请公布日2019.04.16(21)申请号201811521859.1(22)申请日2018.12.13(71)申请人上海航天控制技术研究所地址201109上海市闵行区中春路1555号(72)发明人朱蓓蓓兰洁申振丰许剑锋陈肖郭凌曦程辉袁超孙晴晗(74)专利代理机构上海航天局专利中心31107代理人圣冬冬(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图5页(54)发明名称一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置(57)摘要本专利公开了一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，该装置包含：公转电机、自转电机、摆动电机，公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动。自转电机通过自转轴系与卡具相连，通过弹力钢丝绳实现全角度自转。摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动，通过拨叉带动齿条驱动齿轮实现工件摆动。本发明可实现半球谐振陀螺镀膜过程中空间运动，全表面一次性成膜，集公转、自转和摆动三种运动于一体，且公转速度、自转速度与自转方向独立可调，向上摆动速度、向下摆动速度、摆动仰角和上、下停顿时间均可按需要随意设定，提高镀膜均匀性，解决了半球谐振陀螺镀膜合格率低的问题，提高生产效率。CN109628904ACN109628904A权利要求书1/1页1.一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，其特征在于该装置包含公转系统、自转系统、摆动系统和真空室；所述公转系统包括，公转电机，所述公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动；所述自传系统包括，自传电机，所述自转电机通过自转轴系与卡具相连，通过弹力钢丝绳实现全角度自转运动；所述摆动系统包括，摆动电机，所述摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动实现工件摆动；所述真空室内设置有工件固定装置，所述真空室内的工件固定装置通过传动杆与所述公转系统、所述自传系统和所述摆动系统连接。2.如权利要求1所述的一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，其特征在于，所述自传系统的自转速度可调并可独立控制。3.如权利要求1所述的一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，其特征在于，所述摆动电机通过拨叉带动齿条驱动齿轮，将旋转转换成工件摆动。4.如权利要求1所述的一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，其特征在于，所述传动杆与所述真空室的连接处安装动密封装置。2CN109628904A说明书1/2页一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置技术领域[0001]本发明涉及半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，特别涉及半球谐振陀螺镀膜领域。背景技术[0002]采用传统真空镀膜设备转架，仅能实现公转+自转的功能,无摆动功能，且无法独立控制公转与自转的转速。对于半球谐振陀螺零件各个表面镀膜无法一次成膜，不能实现一次装夹完成真空镀膜，需要对零件进行多次镀膜。因此，采用常用的传统方式对半球谐振陀螺零件镀膜均匀性差，合格率难以控制，效率低。发明内容[0003]本发明目的在于设计一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，该装置包含公转系统、自转系统、摆动系统和真空室；所述公转系统包括，公转电机，所述公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动；所述自传系统包括，自传电机，所述自转电机通过自转轴系与卡具相连，通过弹力钢丝绳实现全角度自转运动；所述摆动系统包括，摆动电机，所述摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动实现工件摆动；所述真空室内设置有工件固定装置，所述真空室内的工件固定装置通过传动杆与所述公转系统、所述自传系统和所述摆动系统连接。[0004]优选的，所述自传系统的自转速度可调并可独立控制。[0005]优选的，所述摆动电机通过拨叉带动齿条驱动齿轮，将旋转转换成工件摆动。[0006]优选的，所述传动杆与所述真空室的连接处安装动密封装置，保证真空室气密性。[0007]本发明的有益效果是:[0008]1.可实现工件空间多维运动,包括：公转、自转、摆动、自转+公转、自转+摆动、公转+摆动、公转+自转+摆动等多种空间运动。[0009]2.本装置在真空镀膜生产中,实现了公转速度、自转速度与自转方向独立可调，向上摆动速度、向下摆动速度、摆动仰角和上、下停顿时间均可按需要随意设定，精确控制膜层厚度，提高膜层均匀性。[0010]3.本装置实现了工件多种转动方式的独立运动与联动，对被镀工件表面形状复杂、精确控制膜层厚度等难题提出了很好的解决方向。实现一次性装夹全表面镀膜，保证了工件表面膜层覆盖率与膜层厚度均匀性。附图说明[0011]图1是半球谐振陀螺镀膜空间运动装置示意图；[0012]图2是半球谐振陀螺镀膜空间运动装置俯视图；[0013]图3是公转系统示意图；[0014]图4是自转系统示意图；[0015]图5是摆动系统示意图。3CN109628904A说明书2/2页[00