半球谐振子金属化镀膜夹具控制装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115369370A(43)申请公布日2022.11.22(21)申请号202211003352.3(22)申请日2022.08.19(71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究所地址201800上海市嘉定区清河路390号(72)发明人邵建达王建国易葵刘世杰张伟丽孙建李令灏(74)专利代理机构上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31317专利代理师张宁展(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/54(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称半球谐振子金属化镀膜夹具控制装置(57)摘要本发明属于半球谐振陀螺仪领域，特别涉及卫星惯性导航系统中半球谐振陀螺仪谐振子金属化镀膜工艺；具体为一种用于半球谐振子金属化镀膜的夹具装置；所述装置包括谐振子自转结构，谐振子整体摆动结构以及两者之间的连接控制结构；所述谐振子的自转结构是通过步进电机轴承连接谐振子支撑杆，实现谐振子的自转；所述谐振子的整体摆动装置是指通过另外一个电机带动前述自转电机进行特定角度范围内的往返摆动；所述自转电机和整体摆动电机之间的连接控制结构是指通过一个L型金属板结构，将两个电机连接控制在一起；通过本发明设计的镀膜夹具装置，可分别用于谐振子外球面、内球面以及谐振子中间支撑杆上的均匀性镀膜。CN115369370ACN115369370A权利要求书1/1页1.一种半球谐振子金属化镀膜夹具的控制装置，其特征是包括第一步进电机(2)、第二步进电机(3)、L型金属板(4)、金属套管(5)和控制装置(6)，所述的L型金属板(4)由相互垂直的主板(41)和侧板(42)及垂直于所述的侧板的金属杆(43)一体构成，在所述的主板(41)上具有一个中心孔(411)和四个分布在主板四角的与所述的第一步进电机(2)的螺孔相对应的螺孔(412)，在所述的侧板的金属杆(43)的另一端具有一中心沉孔(431)，所述的金属套管(5)是两端具有沉孔的构件，所述的第一步进电机(2)的轴承(21)穿过所述的主板(41)上中心孔(411)后，通过螺钉拧入所述的主板(41)上的螺孔(412)和第一步进电机(2)的螺孔中将所述的第一步进电机(2)与所述的主板(41)固定在一起，再将所述的金属套管(5)一端的沉孔套在所述的第一步进电机(2)的轴承(21)上并通过螺钉固定，所述的金属套管(5)另一端的沉孔套在所述的半球谐振子(1)的半球顶部支撑杆(11)并用螺钉固定，所述的第二步进电机(3)的轴承(31)插入所述的金属杆(43)另一端的中心沉孔(431)并用螺钉固定，所述的第一步进电机(2)的控制线(7)与所述的控制装置(6)相连，所述的第二步进电机(3)的控制线(8)与所述的控制装置(6)相连。2CN115369370A说明书1/3页半球谐振子金属化镀膜夹具控制装置技术领域[0001]本发明涉及半球谐振陀螺仪，特别涉及卫星惯性导航系统中半球谐振陀螺仪谐振子金属化镀膜工艺，具体为半球谐振子金属化镀膜夹具控制装置。背景技术[0002]半球谐振陀螺仪是哥式振动陀螺仪中的一种具有惯导级性能的高精度陀螺仪，半球谐振陀螺仪属于振动旋转传感器，具有高精度、长寿命、高可靠、噪声低、抗核辐射、耐高冲击等特点，作为一种高精度、长寿命、低功耗的惯导器件，半球谐振陀螺在各种航空航天等战略性武器当中具有广阔的应用前景。[0003]半球谐振陀螺依靠半球形谐振子的薄壳驻波振动来敏感外界的载体角度变化，其核心敏感部件是半球形谐振子。半球谐振子采用低热膨胀系数、低阻尼损耗的硬脆熔融石英玻璃材料精密磨削加工成型。半球谐振子是半球谐振陀螺的核心部件，以其高Q值、低频差的优良特性保证了半球谐振陀螺的工作精度。对谐振子表面金属化镀膜是半球谐振子制造的重要工艺环节。发明内容[0004]本发明的目的是针对半球谐振子的异形结构金属化镀膜的要求，提出一种半球谐振子金属化镀膜夹具控制装置，使得谐振子的表面金属化膜层的均匀性等指标要求满足陀螺仪的工程应用需求。[0005]本发明的技术解决方案如下：[0006]一种半球谐振子金属化镀膜夹具的控制装置，其特点是包括第一步进电机、第二步进电机、L型金属板、金属套管和控制装置，所述的L型金属板由相互垂直的主板和侧板及垂直于所述的侧板的金属杆一体构成，在所述的主板上具有一个中心孔和四个分布在主板四角的与所述的第一步进电机的螺孔相对应的螺孔，在所述的侧板的金属杆的另一端具有一中心沉孔，所述的金属套管是两端具有沉孔的构件，所述的第一步进电机的轴承穿过所述的主板上中心孔后，通过螺钉拧入所述的主板上的螺孔和第一步进电机的螺孔中将所述的第一步进电机与所述的主板固定在一起，再将所述的金属套管一端的沉孔套在所述的第一步进电机