用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109742048A(43)申请公布日2019.05.10(21)申请号201910168925.X(22)申请日2019.03.06(71)申请人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司地址518000广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷（涌鑫工业园）D栋(72)发明人邓金生汪林周宏业余仲(74)专利代理机构深圳市康弘知识产权代理有限公司44247代理人尹彦胡朝阳(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图1页(54)发明名称用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构(57)摘要本发明公开了一种用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构，包括机架（8），设置在机架底板上的直线滑轨（15）和安装在其上面的伸缩板（1），还包括传动轮组，与传动轮组驱动连接的电机（7）和皮带（10），所述电机（7）通过传动轮组使皮带（10）在机架（8）的上面作传输运动，所述伸缩板（1）以直线滑轨（15）导向，通过伸缩气缸（9）的伸缩带动伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）的一端，当所述伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）时，所述皮带（10）通过所述传动轮组使得其始终处于张紧状态。本发明的伸缩结构，硅片上不易产生皮带印，产品的合格率较高，安装和调试方便。CN109742048ACN109742048A权利要求书1/2页1.一种用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构，包括机架（8），设置在机架底板上的直线滑轨（15）和安装在其上面的伸缩板（1），还包括传动轮组，与传动轮组驱动连接的电机（7）和皮带（10），其特征在于：所述电机（7）通过传动轮组使皮带（10）在机架（8）的上面作传输运动，所述伸缩板（1）以直线滑轨（15）导向，通过伸缩气缸（9）的伸缩带动伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）的一端，当所述伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）时，所述皮带（10）通过所述传动轮组使得其始终处于张紧状态。2.根据权利要求1所述的伸缩结构，其特征在于：所述传动轮组包括主动轮（16）、第一传动轮（11）、第二传动轮（12）、第三传动轮（13）和第四传动轮（17），所述主动轮(16)安装在机架（8）的侧面，并与所述电机（7）的输出轴传动连接，所述第一传动轮（11）安装在所述伸缩板（1）外侧的一端，所述第二传动轮（12）安装在伸缩板（1）底部上远离第一传动轮（11）的一端，所述第三传动轮（13）位于第二传动轮（12）的下侧，并安装在机架（8）上，所述第四传动轮（17）安装在所述机架（8）的上面远离第一传动轮（11）的一端。3.根据权利要求2所述的伸缩结构，其特征在于：所述主动轮（16）通过所述皮带（10）与所述第四传动轮（17）、第一传动轮（11）、第二传动轮（12）和第三传动轮（13）传动连接，所述电机（7）通过主动轮（16）、第一传动轮（11）、第二传动轮（12）、第三传动轮（13）和第四传动轮（17）使皮带（10）在机架（8）的上面作传输运动，当伸缩气缸（9）驱动伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）的一端时，所述第二传动轮（12）会随着所述伸缩板（1）移动，从而带动皮带（10）一起移动，使得皮带（10）始终处于张紧状态。4.根据权利要求3所述的伸缩结构，其特征在于：所述主动轮（16）和第三传动轮（13）之间还设有第五传动轮（19），所述第五传动轮（19）通过皮带（10）分别与主动轮（16）和第三传动轮（13）传动连接；所述主动轮（16）和第四传动轮（17）之间还设有第六传动轮（18），所述第六传动轮（18）通过皮带（10）分别与主动轮（16）和第四传动轮（17）传动连接。5.根据权利要求4所述的伸缩结构，其特征在于：所述传动轮组共有两组，分别设置在机架（8）的两侧。6.根据权利要求1所述的伸缩结构，其特征在于：所述机架（8）上面的两侧各设有一个皮带承托杆（3），所述皮带承托杆（3）的一端固定安装在机架（8）上，当伸缩板（1）伸出所述机架（8）一端时，它能够托住皮带（10）。7.根据权利要求6所述的伸缩结构，其特征在于：所述伸缩板（1）上的两侧设有与所述皮带承托杆（3）配合使用的避让槽（2），所述皮带承托杆（3）置于所述避让槽（2）内来回伸缩运动，所述伸缩板（1）上的避让槽（2）宽度必须小于皮带（10）宽度，从而当伸缩板（1）伸出所述机架（8）一端时，避让槽（2）上方的皮带（10）不会因悬空而抖动。8.根据权利要求1所述的伸缩结构，其特征在于：所述伸缩板（1）和伸缩气缸（9）之间还设有滑动组件，所述滑动组件包括连接臂（20）、底座（4）、连接块（5）及滑块（14）；所述连接臂（20）的顶端与伸缩板（1）的底部固定连