基板切割装置及基板切割方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109824259A(43)申请公布日2019.05.31(21)申请号201811404552.3(22)申请日2018.11.23(30)优先权数据10-2017-01573092017.11.23KR(71)申请人塔工程有限公司地址韩国庆尚北道(72)发明人朴智雄(74)专利代理机构北京钲霖知识产权代理有限公司11722代理人金丹李强(51)Int.Cl.C03B33/03(2006.01)C03B33/037(2006.01)权利要求书2页说明书17页附图30页(54)发明名称基板切割装置及基板切割方法(57)摘要本发明实施例中的基板切割装置及基板切割方法，切割轮模块，其具备切割轮；轮移动模块，其通过移动所述切割轮模块使得所述切割轮施压于基板；第一板及第二板，所述第一板及第二板分别设置于所述切割轮模块的两侧用于支撑所述基板；移动装置，其使所述第二板相对所述第一板沿Y轴方向远离移动，以分离被所述第一板及所述第二板支撑的所述基板；负荷测量模块，其用于测量所述移动装置的负荷；及，控制单元，其根据被所述负荷测量模块测量的所述移动装置的负荷，来控制所述轮移动模块来调整所述切割轮施加于所述基板的加压力。CN109824259ACN109824259A权利要求书1/2页1.一种基板切割装置，其中，包括：切割轮模块，其具备切割轮；轮移动模块，其通过移动所述切割轮模块使得所述切割轮施压于基板；第一板及第二板，所述第一板及第二板分别设置于所述切割轮模块的两侧用于支撑所述基板；移动装置，其使所述第二板相对所述第一板沿Y轴方向远离移动，以分离被所述第一板及所述第二板支撑的所述基板；负荷测量模块，其用于测量所述移动装置的负荷；及，控制单元，其根据被所述负荷测量模块测量的所述移动装置的负荷，来控制所述轮移动模块来调整所述切割轮施加于所述基板的加压力。2.根据权利要求1所述的基板切割装置，其中，在当所述基板被分离时所述负荷测量模块测量到的所述移动装置的负荷大于基准负荷时，所述控制单元控制所述轮移动模块使得所述切割轮施加于所述基板的加压力增加。3.根据权利要求1或2所述的基板切割装置，其中，包括：对准单元，其决定从外部进入的基板的位置；第一切割单元，其包括所述切割轮模块，所述第一切割单元在所述基板的第一面及第二面分别形成平行于X轴方向的第一X轴切割线及第二X轴切割线；第二切割单元，在所述基板的第一面形成平行于Y轴方向的第一Y轴切割线；基板翻转单元，用于翻转形成有所述第一Y轴切割线的基板；及，第三切割单元，用于在所述基板的所述第二面形成平行于Y轴方向的第二Y轴切割线。4.根据权利要求3所述的基板切割装置，其中，所述第二切割单元包括：第二框体，其向X轴方向延长并向Y轴方向移动；第二头部，其能向X轴方向移动地设置于所述第二框体，并具备切割轮；传送带，用于支撑所述基板；支撑板，其可向Z轴方向移动地设置于所述传送带的下方，在所述切割轮加压至所述基板时支撑所述传送带，从而支撑所述基板；及，支撑板升降装置，其设置于所述支撑板的下方，使所述支撑板沿着Z轴方向升降。5.根据权利要求3所述的基板切割装置，其中，所述基板翻转单元包括：多个传送带，其在X轴方向上相隔设置；支撑台，其向Z轴方向延长设置；第一吸附板，其具备第一吸附喷嘴；第二吸附板，其具备第二吸附喷嘴；吸附板升降装置，沿着所述支撑台将所述第一吸附板及所述第二吸附板向Z轴方向移动；及，吸附板旋转装置，用于以X轴中心旋转所述第一吸附板及所述第二吸附板。6.根据权利要求3所述的基板切割装置，其中，所述第三切割单元包括：第三框体，其向X轴方向延长并向Y轴方向移动；第三头部，其可向X轴方向移动地设置于所述第三框体，并具备切割轮；传送带，用于支撑所述基板；2CN109824259A权利要求书2/2页支撑板，其可向Z轴方向移动地设置于所述传送带的下方，在所述切割轮加压至所述基板时支撑所述传送带，从而支撑所述基板；及，支撑板升降装置，其设置于所述支撑板的下方，使所述支撑板沿着Z轴方向升降。7.一种基板切割方法，其中，包括：基板移送步骤，将基板移送到在第一切割单元邻接设置的第一板及第二板；X轴切割线形成步骤，通过轮移动模块使得切割轮施压于基板，使所述切割轮在基板上移动，并形成X轴切割线；板移动步骤，通过移动装置使所述第二板相对所述所述第一板沿Y轴方向远离移动，以分割被所述第一板及所述第二板支撑的所述基板；负荷测量步骤，通过负荷测量模块测量所述移动装置的负荷；及，加压力调整步骤，根据所述负荷测量模块测量的所述移动装置的负荷，控制所述轮移动模块来调整所述切割轮施加于所述基板的加压力。8.根据权利要求7所述的基板切割方法，其中，在所述加压力调整步骤中，当所述基