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一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置.pdf
2023-08-29
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是你****芹呀
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本发明提供了一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，包括设置在片盒清洗机周围的轨道以及设置在轨道上的搬运小车，轨道的一侧设置有齿条，搬运小车的下部设置有第二电机带动运转的齿轮，齿轮和齿条啮合，搬运小车上设置有片盒治具夹紧转台，片盒治具夹紧转台可在竖直方向上进行转动。本发明所述的适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，有效节省工作空间、提高了生产效率。
2023-08-29
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一种片盒升降装置、传输系统及半导体加工设备.pdf
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2023-10-13
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2023-06-11
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